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陈广璐

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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合作作者

领域

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主题

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  • 4个等离子体
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机构

  • 8个中国科学院微...
  • 3个清华大学

资助

  • 7个国家科技重大...
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传媒

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地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
李春龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟令款
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 掩模 半导体器件 粗糙度 电子束光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺晓彬
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫江
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵超
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐兆云
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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