2024年8月21日
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翟雷应
作品数:
6
被引量:18
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
吴亚明
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐静
中国科学院上海微系统与信息技术...
钟少龙
中国科学院研究生院
刘英明
中国科学院研究生院
李四华
中国科学院研究生院
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
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钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
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李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
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刘英明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微光机电系统 体硅工艺 大尺寸 MOEMS MEMS
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