2025年1月8日
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宋志
作品数:
3
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H指数:1
供职机构:
中国科学院研究生院
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发文基金:
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
魏淑华
中国科学院研究生院
韩立
中国科学院电工研究所
薛虹
中国科学院电工研究所
段辉高
中国科学院电工研究所
张今朝
中国科学院电工研究所
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电子束曝光 电流变液
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供职机构
所获资助
研究领域
魏淑华
供职机构:北方工业大学
研究主题:电子束曝光 虚拟仪器 生物传感器 基于虚拟仪器 可变增益放大器
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供职机构
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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供职机构
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研究领域
段辉高
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:微细加工 电子束曝光
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供职机构
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研究领域
张今朝
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光 电子束曝光机 图形发生器 软件系统 图形文件格式
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