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李佳
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中国科学院微电子研究所
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国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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自动化与计算机技术
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合作作者
王玮冰
江苏物联网研究发展中心
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
何青
中国科学院微电子研究所
侯影
中国科学院微电子研究所
孙业超
中国科学院微电子研究所
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 压阻 红外光源
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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何青
供职机构:中国科学院微电子研究所
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袁婷婷
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:ALGAN/GAN_HEMT DOHERTY功率放大器 氮化镓 KU波段 微带型
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张静
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:热电制冷 穿戴 波导滤波器 样本数据 氮化硅
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侯影
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 二极管 读出电路 微弱信号
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魏珂
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 势垒层 欧姆接触 ALGAN/GAN
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孙业超
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:压阻 压力传感器 承压 SIC 边线
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孙占鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:监测系统 多传感器系统 多传感器 室内环境 实时监测
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欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
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