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聂洪玮

作品数：1 被引量：11H指数：1
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

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主题

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  • 3个导轨
  • 3个电磁
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机构

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传媒

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地区

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
李恒
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：精密工作台 扰动观测器 气浮导轨 运动轨迹规划 超精密
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾松涛
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 微动工作台 精密工作台 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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