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刘楠

作品数：8 被引量：6H指数：2
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省高等学校科学技术研究指导项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信环境科学与工程更多>>

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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
田巧伟
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟东
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄妍妍
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 外延层 气相 掺硼金刚石膜电极 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王志强
供职机构：中国矿业大学（北京）
研究主题：错层位 煤柱 巷道布置 厚煤层 无煤柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨飞
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨志欣
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：表面活性剂 BDD CMP 化学机械抛光 大分子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张晓宇
供职机构：河北工业大学能源与环境工程学院
研究主题：采暖 秸秆压块 水套 微电网 户用
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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