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张宏远

作品数：5 被引量：15H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金河北省教育厅科研基金更多>>
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合作作者

领域

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主题

  • 12个化学机械抛光
  • 12个机械抛光
  • 12个CMP
  • 11个抛光液
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  • 11个去除速率
  • 10个化学机械平坦...
  • 10个碱性抛光液
  • 9个铜布线
  • 9个磨料
  • 9个碱性
  • 8个抛光
  • 8个阻挡层
  • 8个螯合剂
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  • 6个速率
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机构

  • 12个河北工业大学
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  • 1个中国人民政治...

资助

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  • 10个河北省自然科...
  • 7个国家科技重大...
  • 6个国家自然科学...
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传媒

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地区

  • 11个天津市
  • 1个河北省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨昊鹍
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 硅衬底 碱性条件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海龙
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP HCL 钽 盐酸胍 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李洪波
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：磨料 黏度 表面粗糙度 铜 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王傲尘
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：磨料 化学机械平坦化 CMP 去除速率 化学反应动力学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李炎
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：聚苯胺 防腐涂料 磨料 涂料 聚苯胺复合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪姣
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP BTA 螯合剂 接触角 苯并三氮唑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈蕊
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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