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林娜娜

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金更多>>
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘利宾
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：抛光 CMP 化学机械抛光 去除速率 插塞
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢哲
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP ULSI 抛光液 钽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨立兵
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 抛光 化学机械平坦化 抛光液 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鸣
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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