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侯丽辉
作品数:
3
被引量:16
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供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙薇
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
时慧玲
河北工业大学信息工程学院微电子...
李咸珍
河北工业大学
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孙薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 SIO2 CU
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张伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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时慧玲
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 去除速率 粒径 CU
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宗思邈
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 蓝宝石衬底 去除速率 INSB
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
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唐文栋
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 硬盘基板 化学机械抛光 粗糙度 浆料
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李咸珍
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 去除速率 微晶玻璃 超精密加工
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