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国家教育部博士点基金(20050080007)

作品数:33 被引量:104H指数:6
相关作者:刘玉岭牛新环刘效岩张伟檀柏梅更多>>
相关机构:河北工业大学天津职业技术师范大学天津理工大学更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 33篇期刊文章
  • 6篇会议论文

领域

  • 31篇电子电信
  • 4篇理学
  • 3篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 24篇化学机械抛光
  • 24篇机械抛光
  • 17篇CMP
  • 16篇去除速率
  • 10篇粗糙度
  • 8篇抛光
  • 8篇抛光液
  • 7篇蓝宝
  • 7篇蓝宝石
  • 6篇硬盘基板
  • 6篇蓝宝石衬底
  • 6篇基板
  • 6篇衬底
  • 5篇磨料
  • 4篇微晶硅
  • 4篇计算机
  • 4篇浆料
  • 4篇ULSI
  • 3篇电化学
  • 3篇粒径

机构

  • 37篇河北工业大学
  • 4篇天津职业技术...
  • 1篇天津理工大学

作者

  • 36篇刘玉岭
  • 13篇牛新环
  • 9篇檀柏梅
  • 8篇刘效岩
  • 7篇张伟
  • 6篇唐文栋
  • 5篇田军
  • 4篇宗思邈
  • 4篇赵之雯
  • 4篇时慧玲
  • 4篇苏艳勤
  • 4篇武彩霞
  • 4篇康海燕
  • 3篇李咸珍
  • 3篇孙薇
  • 3篇侯丽辉
  • 2篇韩力英
  • 2篇崔春翔
  • 2篇王立发
  • 2篇张进

传媒

  • 15篇半导体技术
  • 4篇河北工业大学...
  • 3篇光电子.激光
  • 3篇功能材料
  • 3篇微纳电子技术
  • 1篇微电子学
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇Semico...
  • 1篇中国有色金属...
  • 1篇电子设计工程
  • 1篇2008全国...

年份

  • 6篇2011
  • 8篇2010
  • 8篇2009
  • 10篇2008
  • 6篇2007
  • 1篇2006
33 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
微晶硅薄膜微结构对稳定性的影响被引量:1
2011年
实验研究了不同晶化率的微晶硅(μc-Si)薄膜的光衰退现象,提出了制备高稳定性硅薄膜太阳电池材料选取方案。研究结果表明,μc-Si中的非晶硅(a-Si)组分是导致光衰退的主要原因,晶化率越高,材料越稳定;过渡区靠近μc-Si材料区域的μc-Si材料,由于具有更好的稳定性和光敏特性,适于制备μc-Si太阳能电池;过渡区附近靠近a-Si材料区域的μc-Si材料,由于具有更高的稳定性,适于制备a-Si太阳能电池。
赵之雯刘玉岭
关键词:太阳能电池稳定性
纳米磨料在二氧化硅介质CMP中的作用分析
二氧化硅是目前 IC 生产中应用最广泛的层间介质,为满足光刻的要求,必须采用化学机械抛光 (CMP)工艺对介质表面进行平整化加工,分析了二氧化硅介质 CMP 机理过程,指出了磨料是影响去除速率及表面状态的关键因素,并以自...
檀柏梅牛新环时慧玲刘玉岭崔春翔
关键词:化学机械抛光粒径去除速率
文献传递
Si单晶片切削液挂线性能的研究被引量:11
2008年
Si片线切割过程中,切削液的挂线性能直接影响切片表面质量、切片速率、线锯寿命以及晶片成品率。为满足超大规模集成电路对Si衬底表面质量的要求,改进线切割液的性能,对影响线切割液性能的因素进行了分析,并通过实验对线切割液的挂线性能进行了研究,找到了比较适合Si片切割且挂线性能较好的切削液配比。
宁培桓周建伟刘玉岭唐文栋张伟
关键词:硅晶片切削液黏度渗透性
ULSI多层布线钨插塞CMP粗糙度的影响因素分析被引量:2
2011年
随着超大规模集成电路向高集成、高可靠性及低成本的方向发展,对集成电路制作过程中的全局平坦化提出了更高的要求.ULSI多层布线CMP中粗糙度对器件的性能有明显影响,因此本文主要研究多层互连钨插塞材料CMP过程中的表面粗糙度影响因素及控制技术,分析了抛光过程中影响粗糙度的主要因素,确定了获得较低表面粗糙度的抛光液配比及抛光工艺参数.
韩力英牛新环刘玉岭
关键词:ULSI多层布线CMP粗糙度
ULSI铜互连钽阻挡层的CMP浆料研究(英文)
随着ULSI的特征尺寸减小,铜成为深亚微米技术中(0.18μm及以下)硅材料上的布线金属,钽阻挡层是防止铜向硅及介质扩散的最佳选择。铜CMP工艺中,由于铜与钽的去除速率的差别常会产生碟形坑,而且金属离子污染也是一个难题。...
檀柏梅牛新环周建伟刘玉岭李晖
关键词:化学机械抛光浆料去除速率选择性
文献传递
An Electrochemical Cleaning Technique for Removal of Surface Contamination before Texturization of Silicon Solar Cells
2010年
In order to decrease the consumption of reagents and silicon during removal of surface contamination before silicon texturing in solar cell manufacturing industry, a new low-cost surface treatment approach of electrochemical cleaning technique(ECT) is reported. In this technique, a powerful oxidizing electrolyte was obtained from the electrochemical reaction on Boron-doped Diamond(BDD) electrodes, and applied during removal of surface contaminations on silicon wafer surfaces. The slightly polished monocrystalline silicon surfaces after cleaning were compared with the ones of primal silicon wafers. The measurement results show that ECT is quite efficient in removing NaCl and organic contaminants. After cleaning, the contrast test was conducted for the textured silicon wafers with/without pre-treatment(polish) separately. The results show that the size of pyramids on the surface without traditional polishing process is homogeneous and smaller than 4μm, and the average surface reflectance is much lower in the wavelength range from 400nm to 800nm. Therefore, the new technique can save silicon material, and effectively avoid optical losses for improving photoconversion effect of solar cells.
ZHANG JianxinLIU YulingTAN BaimeiNIU XinhuanGAO Baohong
关键词:TEXTURIZATION
微晶硅薄膜稳定性的研究
2011年
通过改变硅烷浓度对微晶硅薄膜材料进行沉积,研究了硅烷浓度与微晶硅晶化率的关系,拉曼光谱的拟合结果表示硅烷浓度越高微晶硅薄膜晶化率越低;研究了不同晶化率的微晶硅薄膜的光衰退现象,结果显示材料的晶化率越高,暗电导率越高,光敏性越低.对微晶硅光电稳定性进行了研究,结果显示微晶硅材料的组成特性决定了其结构特性,材料的光衰退现象主要来自其内部微结构的影响,薄膜材料中的非晶硅组分是导致材料光衰退的主要原因,材料晶化率越高,非晶硅成分含量越低,材料稳定性越好.过渡区附近的微晶硅材料的结构及光电特性更适于制备微晶硅电池.
赵之雯刘玉岭
关键词:微晶硅晶化率太阳能电池稳定性
磨料和H_2O_2对InSb CMP效果影响的研究被引量:5
2008年
InSb由于硬度低、脆性大等特性,其材料表面的精密加工水平成为制约器件性能进一步提高的重要因素。采用化学机械抛光(CMP)技术对InSb进行表面加工,分析了CMP过程中抛光液的磨料质量分数和氧化剂含量对InSb的CMP效果的影响规律,实验研究了磨料和氧化剂(H2O2)的优化配比参数,并在此参数下,获得了良好的抛光表面。
张伟刘玉岭孙薇唐文栋宗思邈李咸珍侯丽辉
关键词:锑化铟磨料双氧水化学机械抛光
Dislocation of Cz-sapphire substrate for GaN growth by chemical etching method被引量:1
2006年
The diameter of Czochralski (Cz) sapphire crystals is 50 mm. The sapphire substrates were lapped by using diamond powders and polished by chemical mechanical polishing(CMP) method using alkali slurry with SiO2 abrasive. After obtaining the smooth surfaces, the chemical etching experiments were processed by using fused KOH and NaOH etchants at different temperature for different times. The dislocation was observed by means of optical microscope and scanning electron microscope. The clear and stable contrast images of sample etching pits were observed. On the whole, the dislocation density is about 104?105 cm?2. Comparing the results under the conditions of different etchants, temperatures and times during the etching proceeding, it was found that the optimal condition for dislocation displaying is etching 15 min with fused KOH at 290 ℃. At the same time, the formation of the etch pits and the reducing method of dislocation density were also discussed.
牛新环卢国起张维连高金雍刘玉岭
关键词:氮化镓单晶生长位错
碱性条件下硬盘NiP基板抛光速率正交试验分析被引量:1
2010年
利用单面抛光机和SiO2碱性抛光液进行了以硬盘NiP基板CMP去除速率为考核指标的工艺试验。针对抛光速率是受各个工艺因素共同影响这一特性,应用正交试验方法分析了CMP中5个重要工艺参数(抛光压力、抛光液流量、抛光盘转速、抛光液浓度,氧化剂质量分数)对硬盘NiP基板抛光去除速率的影响规律,并结合抛光机理对其进行了分析。试验分析表明,抛光压力为0.2 MPa,抛光液流量为500 mL/min,抛光盘转速为50 r/min,磨料质量分数为20%,氧化剂体积分数为0.3%时,可以得到较高的抛光速率,为740 nm/min。
项霞刘玉岭刘金玉穆会来
关键词:化学机械抛光碱性抛光液抛光速率正交试验
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