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国家中长期科技发展规划重大专项(2009zx02308)

作品数：2 被引量：3H指数：1
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河北工业大学
研究主题：数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学信息工程学院
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