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国家中长期科技发展规划重大专项(2009zx02308)

作品数：2 被引量：3H指数：1
相关作者：刘楠田巧伟苏伟东高宝红檀柏梅更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 7个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个金属学及工艺
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  • 3个一般工业技术
  • 2个理学
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  • 1个文化科学

主题

  • 7个三氮唑
  • 7个铜布线
  • 7个离子
  • 7个化学机械抛光
  • 7个活性剂
  • 7个机械抛光
  • 7个非离子
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  • 7个BTA
  • 7个CMP
  • 7个表面活性
  • 7个表面活性剂
  • 7个F
  • 6个漏电
  • 6个漏电流
  • 5个氧化液
  • 3个低K材料
  • 3个低K介质
  • 3个低K介质材料
  • 3个电化学

机构

  • 7个河北工业大学
  • 1个天津大学
  • 1个天津理工大学

资助

  • 7个国家中长期科...
  • 6个国家自然科学...
  • 6个河北省高等学...
  • 5个国家科技重大...
  • 3个河北省自然科...
  • 2个博士后科研启...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个河北省教育厅...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个天津市科技支...
  • 1个河北省科技支...
  • 1个石家庄市科技...
  • 1个天津市重大科...
  • 1个天津市重点学...
  • 1个天津市科技攻...

传媒

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  • 5个半导体技术
  • 3个Journa...
  • 3个功能材料
  • 3个微电子学
  • 3个第六届中国功...
  • 2个硅酸盐学报
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  • 2个稀有金属
  • 2个人工晶体学报
  • 2个液晶与显示
  • 1个天津科技
  • 1个经济论坛
  • 1个半导体情报
  • 1个电子工艺技术
  • 1个计算机时代
  • 1个红外
  • 1个仪表技术
  • 1个河北工业大学...
  • 1个半导体杂志

地区

  • 7个天津市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
田巧伟
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟东
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘楠
供职机构：河北工业大学
研究主题：地下水 铜布线 CMP 化学机械抛光 环境容量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄妍妍
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 外延层 气相 掺硼金刚石膜电极 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨飞
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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