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浙江金瑞泓科技股份有限公司

作品数：97 被引量：20H指数：2
相关机构：有研半导体材料有限公司有色金属技术经济研究院质量检验中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术语言文字经济管理更多>>

合作机构

文献类型

  • 64篇专利
  • 24篇标准
  • 8篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 20篇电子电信
  • 8篇自动化与计算...
  • 6篇语言文字
  • 3篇经济管理
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇机械工程
  • 3篇文化科学
  • 2篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 38篇硅片
  • 24篇单晶
  • 19篇硅单晶
  • 12篇外延片
  • 10篇硅外延
  • 9篇硅片表面
  • 8篇抛光
  • 8篇硅外延片
  • 7篇直拉硅
  • 6篇抛光片
  • 5篇直拉硅单晶
  • 5篇水迹
  • 5篇掺杂
  • 4篇外延层
  • 4篇外延炉
  • 4篇晶片
  • 4篇均匀性
  • 4篇反应气体
  • 3篇单晶片
  • 3篇振子

机构

  • 97篇浙江金瑞泓科...
  • 11篇有色金属技术...
  • 11篇有研半导体材...
  • 8篇质量检验中心
  • 7篇杭州海纳半导...
  • 6篇浙江海纳半导...
  • 4篇浙江大学
  • 4篇中国有色金属...
  • 4篇浙江中晶科技...
  • 4篇有研新材料股...
  • 3篇中环领先半导...
  • 3篇山东有研半导...
  • 2篇中国计量科学...
  • 2篇河北普兴电子...
  • 2篇洛阳鸿泰半导...
  • 1篇天津职业技术...
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇浙江省标准化...
  • 1篇青海黄河上游...
  • 1篇哈尔滨科友半...

作者

  • 3篇杨德仁
  • 3篇马向阳
  • 2篇梁兴勃
  • 2篇赵剑
  • 1篇田达晰
  • 1篇李国和
  • 1篇黎振
  • 1篇董鹏
  • 1篇张越
  • 1篇赵泽钢

传媒

  • 2篇物理学报
  • 1篇金刚石与磨料...
  • 1篇中国表面工程
  • 1篇玻璃
  • 1篇企业改革与管...
  • 1篇中国经贸
  • 1篇经济视野

年份

  • 2篇2024
  • 15篇2023
  • 12篇2022
  • 4篇2021
  • 2篇2020
  • 8篇2019
  • 5篇2018
  • 4篇2017
  • 4篇2016
  • 13篇2015
  • 7篇2014
  • 5篇2013
  • 16篇2012
共 97 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
本标准规定了硅片翘曲度的非破坏性、自动非接触扫描测试方法。 本标准适用于直径不小于50 mm，厚度不小于100的洁净、干燥的切割、研磨、腐蚀、拋光、刻蚀、外延或其他表面状态硅片的翘曲度测试。本方法可用于监控因热效应（或）...
孙燕何宇徐新华王飞尧张海英楼春兰向兴龙
关键词：地震检波器地震检波器
一种带超声或兆声振子的异丙醇干燥机
本实用新型公开了一种带超声或兆声振子的异丙醇干燥机。它包括喷嘴、盖子、溢流槽、支撑架、水槽、振子、进气管，方形水槽的上端边沿为溢流槽，在水槽内下部安装有支撑架，超声或兆声振子粘接在水槽的底部下方，水槽的上端安装有盖子，盖...
田达晰李刚徐国科张世波林晓华王昆鹏历惠宏李自炳
文献传递
一种在高COP硅单晶衬底上制备200mm-300mm低缺陷外延片的方法
本发明涉及一种在高COP硅单晶衬底上制备200mm-300mm低缺陷外延片的方法，包括：(1)将高COP硅单晶衬底在纯氢气气氛中升温至800～850℃，保温5～10s；(2)然后升温至烘烤温度，将外延炉的保护气氛切换为氢...
梁兴勃王震陈华李慎重杨盛聪邬幸富田达晰
一种线切硅单晶
本实用新型涉及一种线切硅单晶，包括晶锭(1)，所述晶锭(1)在钢线切入的最初位置点粘结有一引导条(2)。本实用新型在添加引导条后，当切割过程中发生断线时，不用完全将单晶抬出线网，让钢线在引导条中走动，启到既定轨道的作业，...
倪永明林松青黄业志沈海潮李刚
文献传递
微量掺锗直拉硅单晶技术及其应用
杨德仁1田达晰2余学功1马向阳
直拉硅单晶是集成电路和光伏产业的基础材料。集成电路是信息产业的基石，是国家最重要的高科技产业之一，2017年我国集成电路年产值超过5400亿元。而太阳能光伏是国际上快速发展的新能源高新技术之一，我国已经成为国际最大的光伏...
关键词：
关键词：直拉硅单晶集成电路光伏材料
一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头
本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头。包括挂钩、上段、中段、下段、销子，下段的中心为晶种的固定槽，下段的下部一侧开有销子孔，销子孔为普通键槽形状的通孔，销子孔内装有销子，销子为圆柱形，一侧有宽度e为3-6mm...
田达晰何永增程建国张向成郑铁波李刚
文献传递
一种双排气平板式外延炉
本发明涉及一种双排气平板式外延炉，包括石英钟罩(1)和底板(15)，底板(15)上端安装有石英钟罩(1)，石英钟罩(1)的上端中部开有一个石英法兰接口(2)，石英法兰接口(2)的上端通过法兰(3)与不锈钢排气管(4)相连...
彭世煜田达晰王震张世波梁兴勃陈华李慎重
文献传递
一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构
本实用新型涉及一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构，包括蝶阀以及安装在蝶阀上方的安装板，安装板上端安装有基座，基座上端安装有步进电机，步进电机输出轴的下端竖直穿过基座并安装有驱动齿轮，蝶阀上设有控制开度的阀杆，阀杆的...
龚益峰梁兴勃王少辉范宋杰王国有李滨
一种用于去除硅片背封层的吸盘结构
本实用新型涉及一种用于去除硅片背封层的吸盘结构，包括吸盘本体、嵌入式橡胶环和吸气孔，所述的吸盘本体内部设置有吸气通道，所述的吸盘本体的上端中部设置有与吸气通道连通的集气管，集气管与外部气源对接，所述的吸盘本体下端面设置有...
潘建平梁兴勃张科峰马天扬董燕军樊向柯
一种硅片刷片机
本发明涉及一种硅片刷片机，包括料盘升降装置、传送装置和转动装置，所述的工作台上端中部安装有转动装置，该转动装置的前、后方对称布置有传送装置，所述的传送装置靠近转动装置的一侧安装有放置座，该传送装置的另一侧安装有料盘升降装...
胡晓光徐继东厉惠宏
文献传递
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