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中国电子科技集团公司第四十五研究所

作品数：788 被引量：1,554H指数：17
相关作者：童志义连军莉柳滨种宝春王学军更多>>
相关机构：北京中电科电子装备有限公司桂林电子科技大学北京信息科技大学更多>>
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>

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共 340 条 记 录，以下是 1-10
童志义
作品数：62被引量：276H指数：10
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光学光刻 集成电路 光刻 硅 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
连军莉
作品数：39被引量：55H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：超声扫描 图像 印刷电路板 显微镜 无损检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
种宝春
作品数：29被引量：58H指数：5
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：多线切割机 CMP 化学机械抛光 砂浆 动态特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳滨
作品数：29被引量：65H指数：5
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王学军
作品数：24被引量：64H指数：5
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 化学机械平坦化 光学 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周国安
作品数：24被引量：57H指数：5
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
靳永吉
作品数：22被引量：53H指数：5
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：多线切割机 线锯 砂浆 钢线 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
葛劢冲
作品数：19被引量：73H指数：5
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：IC 光学光刻技术 光学光刻 集成电路 液晶显示器技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段成龙
作品数：18被引量：80H指数：6
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：湿法刻蚀 CAE分析 CAE 化学清洗 全自动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭立杰
作品数：18被引量：28H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆 直线电机 激光加工 激光 伺服控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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