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徐晨

作品数：14 被引量：11H指数：2
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：政治法律医药卫生自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 5篇学位论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 5篇政治法律
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 4篇光刻
  • 3篇电子束光刻
  • 2篇导热
  • 2篇导热率
  • 2篇电子器件
  • 2篇深反应离子刻...
  • 2篇透镜
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子器件
  • 2篇温度梯度
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇面粗糙度
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米光刻
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光学光刻
  • 2篇光子
  • 2篇法律
  • 2篇反应离子

机构

  • 14篇复旦大学

作者

  • 14篇徐晨
  • 7篇陈宜方
  • 6篇陆冰睿
  • 2篇李欣
  • 2篇谢珊珊
  • 2篇张思超

传媒

  • 2篇行政与法

年份

  • 2篇2019
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2009
  • 1篇2007
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
无衬底支撑的悬空厚金波带片透镜的制备方法
本发明属于电感耦合等离子体刻蚀技术领域，具体为一种无衬底支撑的悬空厚金波带片透镜的制备方法。其步骤包括：在Si衬底上旋涂HSQ光刻胶，利用电子束光刻的方法在光刻胶上形成波带片透镜的设计图形作为波带片硅模板的刻蚀掩蔽层，然...
陈宜方李欣徐晨张思超朱静远谢珊珊陆冰睿
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利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法
本发明属于电子束光刻技术领域，具体为一种利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法。本发明步骤包括：首先利用Beamer软件形成曝光文件，而后在硅片表面旋涂上一层光刻胶，利用电子束光刻，经过显影后得到微纳尺寸的微型照片。本发...
陈宜方徐晨
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一种利用光子纳米喷射造成聚焦效应的超分辨纳米光刻方法
本发明属于光刻技术领域，具体为一种利用光子纳米喷射造成聚焦效应的超分辨纳米光刻方法。本发明利用光子在介质微球里发生的纳米喷射过程所造成的聚焦效应进行超分辨纳米光刻，其步骤包括：在硅片表面旋涂一层光刻胶，利用电子束光刻，经...
陈宜方徐晨陆冰睿
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无衬底支撑的悬空厚金波带片透镜的制备方法
本发明属于电感耦合等离子体刻蚀技术领域，具体为一种无衬底支撑的悬空厚金波带片透镜的制备方法。其步骤包括：在Si衬底上旋涂HSQ光刻胶，利用电子束光刻的方法在光刻胶上形成波带片透镜的设计图形作为波带片硅模板的刻蚀掩蔽层，然...
陈宜方李欣徐晨张思超朱静远谢珊珊陆冰睿
不动产登记错误致人损害赔偿问题研究
近年来，随着改革开放的不断深入和市场经济的进一步完善，城乡居民收入水平不断提高，不动产物权已经成为我国大多数人的重要财产。不动产物权的确认和变动需要通过登记进行公示，于是不动产登记制度现已成为与我国大多数人有着直接或间接...
徐晨
关键词：不动产登记登记错误赔偿责任诉讼救济
一种利用热处理减小微电子器件表面粗糙度的仪器
本发明属于微电子器件表面处理技术领域，具体为一种利用热处理减小微电子器件表面粗糙度的仪器。本发明仪器的核心为两部分：高功率的热源和恒温平台。高功率热源将样品表面温度迅速提升，另一侧被恒温平台控制在室温，由于样品衬底位导热...
陈宜方徐晨陆冰睿
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一种利用光子纳米喷射造成聚焦效应的超分辨纳米光刻方法
本发明属于光刻技术领域，具体为一种利用光子纳米喷射造成聚焦效应的超分辨纳米光刻方法。本发明利用光子在介质微球里发生的纳米喷射过程所造成的聚焦效应进行超分辨纳米光刻，其步骤包括：在硅片表面旋涂一层光刻胶，利用电子束光刻，经...
陈宜方徐晨陆冰睿
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论业主委员会的民事法律地位
业主委员会自产生以来就存在着性质模糊、法律地位不明确、权责不清等问题,学界关于这些问题的讨论从未停止过,但也没有达成一致意见。《物权法》中关于业主委员会的规定较为原则,新修订的《物业管理条例》依然没有明确业主委员会的法律...
徐晨
关键词：业主委员会民事主体资格法律地位物权法物业管理条例
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一种利用热处理减小微电子器件表面粗糙度的方法
本发明属于微电子器件表面处理技术领域，具体为一种利用热处理减小微电子器件表面粗糙度的方法。本发明利用高功率热源迅速提升样品表面温度，样品另一侧用恒温平台控制在室温；由于样品衬底位导热率极其高的硅片，温度梯度主要集中在几百...
陈宜方徐晨陆冰睿
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apoE基因敲除小鼠心脏与主动脉内膜钟基因、凋亡相关基因及动脉粥样硬化相关基因表达节律改变的研究
昼夜节律生物钟(circadian clock)参与调控机体行为与各项生理功能。昼夜节律的产生依赖于各种生物钟基因(clock gene)的转录．翻译反馈环路。钟基因可以通过调节下游的钟控基因(CCGs)调节多项生理功能...
徐晨
关键词：动脉粥样硬化APOE
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