毛旭
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：北京大学更多>>
- 相关领域：医药卫生机械工程更多>>
- 采用防Footing效应工艺加工的SOI微加速度计被引量：1
- 2010年
- 为了解决深刻蚀绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)材料时存在的横向刻蚀(Footing)效应,在背腔释放SOI微机电系统(micro electro mechanical system,MEMS)工艺基础上,提出并实现了一种改进的利用背面保护电极抑制Footing效应的工艺方案.在SOI圆片上生长SiO2和Si3N4掩模材料并图形化后,背面腐蚀支撑层Si至掩埋层SiO2.去除掩埋层SiO2后,完成正面Al电极和背面保护Al电极的溅射.深反应离子干法刻蚀SOI圆片形成结构,再腐蚀背面Al薄膜完成结构释放.基于该工艺,对结构层厚度为80μm的采用双端固支梁的SOI微加速度计的结构进行设计与仿真、器件加工和最终的性能测试.加速度计在±1 g(g=9.8 m/s2)范围内的灵敏度和非线性度分别为106.7 mV/g和0.1%.实验结果表明,该改进工艺方案可以有效抑制Footing效应对器件结构的损伤,提高加工的可靠性.
- 毛旭杨振川李志宏闫桂珍
- 关键词：微加速度计
- 国内外叙事医学患者干预效果研究进展回顾被引量：2
- 2023年
- 以叙事医学相关概念及发展历程为引,从研究目的、研究设计、研究对象、干预方式、干预效果评价方式、测量工具和指标、数据管理与数据分析、研究结果、发表刊物、研究者身份和主要研究单位等方面回顾分析国内外叙事医学患者干预效果研究文献,发现现有研究在上述各方面差异较大,且部分研究存在规模有限等显著缺陷,尚未形成叙事医学患者干预实践和研究范式。研究可为叙事医学患者干预实践与研究提供一定的参考,有助于启发临床工作者和学术研究者优化叙事医学临床实践,改善患者临床结果。
- 李俊李远达黄蓉邹佳函乔玉玲毛旭郭莉萍
- 关键词：医学人文
