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李凌宇

作品数：3 被引量：11H指数：2
供职机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：安徽省科技攻关计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇压力传感器
  • 2篇力传感器
  • 2篇纳米硅
  • 2篇纳米硅薄膜
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇单片
  • 1篇单片集成
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇压阻式压力传...
  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇微机械陀螺仪
  • 1篇微系统
  • 1篇微压
  • 1篇结构特点

机构

  • 3篇合肥工业大学

作者

  • 3篇李凌宇
  • 2篇许高斌
  • 2篇陈兴
  • 1篇马渊明
  • 1篇卢翌

传媒

  • 1篇电子科技
  • 1篇电子测量与仪...

年份

  • 3篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
SOI基纳米硅薄膜超微压压力传感器研究被引量：6
2013年
设计分析了一种SOI基纳米硅薄膜的压阻式压力传感器，构建SOI埋层氧化层、SOI上层硅和A1N绝缘层多层压力敏感薄膜结构。利用纳米硅薄膜作为压敏电阻，AIN薄膜作为绝缘层，埋层氧化层自停止腐蚀制作压力空腔。该传感器的制备工艺简单，一致性、重复性好。通过ANSYS模拟分析了压力敏感层结构参数对传感器灵敏度的影响以及传热特性，验证了结构设计和理论模型的正确性和合理性。研究表明，该传感器灵敏度可达到1．3mV／（kPa·V），输出电压可达到0．65mV，且具有较好的线性度和高温性能，可实现对0—100Pa超微压的测量。
许高斌李凌宇陈兴马渊明
关键词：SOI纳米硅薄膜压力传感器
单片集成CMOS-MEMS压阻式压力传感器
MEMS压力传感器是最早开展研究,进行工艺实现并达到商业化的MEMS器件,能广泛应用于工业控制、生物医疗、环境检测、航空航天等领域,巨大的市场需求使得硅压力传感器成为MEMS成功商业化的典型代表。其中压阻式压力传感器加工...
李凌宇
关键词：单片集成压力传感器纳米硅薄膜CMOS工艺MEMS器件
文献传递
微机械陀螺仪设计与研究被引量：5
2013年
介绍了微机械陀螺仪的关键技术、种类、性能比较和不同应用领域对其性能参数的要求。总结了近几年国内外微机械陀螺仪结构的研究最新成果。对框架式、音叉式、振动轮式、振动环式、转子悬浮式、质量块式和双线振动式等微机械陀螺仪的结构、加工和性能等进行了分析比较。主要阐述了微机械陀螺仪的漂移误差、精度和封装技术3大研究难点和高精度、微加工维度、结构和电路优化、单片多自由度和单片集成化等研究发展趋势。
李凌宇卢翌陈兴许高斌
关键词：微系统陀螺仪结构特点
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