周荣春
- 作品数：4 被引量：30H指数：3
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重点项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- MEMS CAD系统IMEE的研究和开发被引量：13
- 2003年
- IMEE是一个自主研发的MEMSCAD系统 ,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线 ,贯穿整个设计过程 ,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题 ,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外 ,该系统是跨平台的 ,即适用于UNIX也适用于WINDOWS操作系统 ,对其他MEMSCAD软件具有很好的兼容性 ,还支持用户自主扩展其他功能模块。
- 张海霞郭辉肖志勇周荣春郝一龙
- 关键词：MEMS微电子机械系统CAD系统操作系统
- 微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状被引量：13
- 2003年
- 随着MEMS技术的不断发展 ,微加工工艺的仿真和模拟越来越受到人们的关注。简要介绍了国外干法刻蚀工艺模拟工具的发展情况 ,主要包括美国的SPEEDIE、日本的MORDERN和DEER。
- 周荣春张海霞郝一龙
- 关键词：干法刻蚀工艺微加工工艺MEMS半导体加工
- 高深宽比硅刻蚀工艺技术的模型分析与仿真及实验验证
- 在目前的MEMS加工工艺中，高深宽比硅刻蚀是最具特色的一项工艺技术，尤其是在体硅工艺中，高深宽比硅刻蚀技术常常用于三维结构的最终释放和MEMS系统核心器件的最终形成，在MEMS系统的加工和制造中发挥着重要的作用。本文开展...
- 周荣春
- 关键词：刻蚀等离子刻蚀刻蚀工艺微电子学
- 以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE被引量：2
- 2003年
- IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD 系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外,该系统是跨平台的,适用于UNIX和Windows操作系统,兼容其他MEMS CAD软件,还支持用户自主扩展其他功能模块。
- 郝一龙张海霞郭辉肖志勇周荣春
- 关键词：MEMSCAD系统设计版图设计三维模拟
