肖志勇
- 作品数：5 被引量：21H指数：2
- 供职机构：北京大学微电子学研究院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- MEMS CAD系统IMEE的研究和开发被引量：13
- 2003年
- IMEE是一个自主研发的MEMSCAD系统 ,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线 ,贯穿整个设计过程 ,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题 ,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外 ,该系统是跨平台的 ,即适用于UNIX也适用于WINDOWS操作系统 ,对其他MEMSCAD软件具有很好的兼容性 ,还支持用户自主扩展其他功能模块。
- 张海霞郭辉肖志勇周荣春郝一龙
- 关键词：MEMS微电子机械系统CAD系统操作系统
- 以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE被引量：2
- 2003年
- IMEE是一个自主研发的MEMMS CAD 系统,它包括结点化的系统设计功能、快速的力电耦合性能分析功能、参数化版图单元的版图设计功能、工艺编辑设计和三维模拟功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外,该系统是跨平台的,适用于UNIX和Windows操作系统,兼容其他MEMS CAD软件,还支持用户自主扩展其他功能模块。
- 郝一龙张海霞郭辉肖志勇周荣春
- 关键词：MEMSCAD系统设计版图设计三维模拟
- 加速度系统的结点化模型仿真被引量：3
- 2004年
- 利用在ZeniVDE平台下建立的梁、平板质量、集总质量、气隙、压膜阻尼和锚点等结点化基本单元模型 ,对一种电容式加速度计系统进行了一系列的仿真 ,仿真内容包括静态仿真 ,时域仿真和频域仿真等。
- 肖志勇杨振川张海霞郝一龙
- 关键词：VHDL-AMSMEMSCAD
- 一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构被引量：2
- 2003年
- 提出了一种基于微机械工艺的新型复合微桥膜结构 ,由低应力SiN/SiO2 (0 .5 μm/5 0nm )及Cr/Au(30nm/1μm)构成。相应的工艺流程较为简单。对影响其特性的因素进行了理论分析 ,并提出了 3种桥膜的平面结构 ;利用静电 /力耦合有限元法分析了各种结构的静电驱动特性以及各阶模态 ,结果得到了令人满意的驱动和机械性能 ;通过有限元高频仿真软件对桥膜结构与共面波导形成的可调电容结构进行了分析 ,结果表明其具有良好的射频 /微波性能。该桥膜结构适用于RFMEMS开关。
- 缪旻肖志勇武国英金玉丰郝一龙
- 关键词：微电子机械系统移相器开关可变电容微桥结构
- MEMS系统设计结点化模型的研究及其实现
- 该论文对MEMS(Microelectromechanical Systems)系统设计的结点化模型进行了研究,建立了梁、集总弹簧,集总质量、平板质量、气隙、梳齿驱动和锚点等基本单元模型.选取位移(包括转角)作为模型端口...
- 肖志勇
- 关键词：MEMS微电子机械系统
