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何凯旋
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北方通用电子集团有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
王鹏
北方通用电子集团有限公司
陈璞
北方通用电子集团有限公司
王文婧
北方通用电子集团有限公司
徐栋
北方通用电子集团有限公司
黄斌
北方通用电子集团有限公司
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作者
4篇
何凯旋
4篇
王鹏
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王文婧
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陈璞
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陈博
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黄斌
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汪祖民
传媒
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1篇
2014
3篇
2013
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“三明治”MEMS加速度计的设计与分析
被引量:1
2013年
基于体硅微机械加工技术,设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构,在有效提高加速度计灵敏度的同时,减小了寄生电容的干扰,提高了加速度计的测量精度,并对悬臂梁的抗冲击性能做了仿真分析,保证了加速度计工作的可靠性。经仿真与理论计算分析表明,该加速度计在Z轴向的灵敏度为0.125pF/g,谐振频率为4.9kHz,量程为±50g,抗冲击性能可达15000g。
王鹏
徐栋
何凯旋
王文婧
陈博
陈璞
黄斌
关键词:
电容加速度计
抗冲击
灵敏度
硅-硅直接键合技术及其在三明治电容加速度计中的应用
2013年
硅硅直接键合技术在MEMS工艺中占有极其重要的地位,特别在高精度加速度计、陀螺等复杂三维结构的实现,以及晶圆级真空封装方面都有重要应用。通过大量工艺实验,获得的最佳的键合工艺流程,可使4英寸硅片键合面积达98%。将硅硅直接键合技术应用到三明治电容加速度计中,芯片样品经测试获得了可靠的功能信号,单从灵敏度来讲,其性能已达到同类产品的先进水平。
何凯旋
陈博
王文婧
王鹏
陈璞
黄斌
郭群英
关键词:
MEMS
SOI高线性度压力传感器设计与分析
2013年
使用SOI硅片材料,采用选择性自停止腐蚀工艺,设计了一种具有高线性度的压力传感器。该压力传感器包括压力敏感膜及其上的四个压敏电阻,压敏电阻通过离子注入扩散布局在压力敏感膜的四边中间位置,通过对压敏电阻的长、宽、结深和在膜上的位置等的综合分析,确立压力传感器线性度最优的设计方案。通过建立的理论模型,并利用COVENTORWARE软件对传感器模型进行模拟分析和验证,仿真结果表明,压力传感器在700kPa时的最大非线性度为0.148%,灵敏度为0.1mv/kPa,具有较高的性能。
汪祖民
郭群英
徐栋
王鹏
何凯旋
熊爱武
关键词:
线性度
SOI
压力传感器
一种深腔内图形制作的光刻方法
2014年
针对半球陀螺在研制流片时遇到的深腔内光刻难题,在现有条件下开展了深腔内光刻工艺实验。实验中将曝光间隙类比深腔深度,利用现有条件开展一系列实验。最终得出:在400~600μm曝光间隙内,采用现有光刻机进行深腔光刻工艺制作时,掩膜图形转移尺寸与曝光量有关,与曝光间隙没有明显关系。实验得出的工艺参数已经应用到半球陀螺项目的制作。
王文婧
陈璞
何凯旋
王鹏
关键词:
曝光量
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