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汤中原

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇温控
  • 5篇浸液
  • 5篇光刻
  • 4篇温控系统
  • 4篇浸没式光刻
  • 2篇温控装置
  • 2篇浸没
  • 2篇管路
  • 2篇光刻工艺
  • 1篇热交换
  • 1篇热交换器
  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇光刻机

机构

  • 5篇华中科技大学

作者

  • 5篇汤中原
  • 4篇李小平
  • 4篇石文中
  • 4篇何俊伟

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷...
李小平石文中汤中原何俊伟
文献传递
浸没光刻机浸液温控实验装置设计与分析
浸没光刻技术是当前集成电路制造比较先进的技术,分辨率、套刻精度和产率是其关键性能指标,而浸没系统的浸液温度、压力和流量是影响其性能指标的关键因素之一。本文主要研究浸液温控实验装置的方案和结构,为浸没单元浸液供给系统提供硬...
汤中原
关键词：温度控制
文献传递
一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出...
李小平石文中汤中原何俊伟
文献传递
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷...
李小平石文中汤中原何俊伟
文献传递
一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出...
李小平石文中汤中原何俊伟
文献传递
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