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张福安
作品数:
30
被引量:14
H指数:2
供职机构:
中国科学院电工研究所
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合作作者
顾文琪
中国科学院电工研究所
薛虹
中国科学院电工研究所
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中国科学院电工研究所
靳鹏云
中国科学院电工研究所
王理明
中国科学院电工研究所
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1995
2篇
1994
1篇
1989
1篇
1986
共
30
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缩小投影电子束曝光机中的标记信号检测与对准
介绍缩小投影电子束曝光系统中的标记信号检测及对准的方法与步骤.掩模版上的标记经电子束照射后成像于硅片上,使此标记像扫描硅片上的相应标记,检测由此产生的背散射电子信号确定对准位置.
靳鹏云
张福安
关键词:
掩模板
文献传递
电子束缩小投影成像曝光系统研究
顾文琪
张福安
方光荣
薛虹
靳鹏云
彭开武
张今朝
唐晖
初明璋
吴桂君
王理明
该项目通过对电子束缩小投影成像曝光系统的关键技术及相关部件的研究,探索纳米级缩小投影成像曝光、散射型掩模制备及角度限制机理和高精度对准定位等核心技术。项目组制定了详细又切合实际的总体方案和合理可行的技术路线。为加快研究进...
关键词:
直接产生梯形的图形发生器
被引量:1
1999年
以往研制的电子束曝光机图形发生器只能生成矩形和斜率有限的平行四边形,这造成了曝光精度和速度之间的矛盾。针对以上问题,本文介绍了一台可直接产生梯形的图形发生器,并对该机的测试结果进行了分析。
刘浩
顾文琪
张福安
关键词:
图形发生器
集成电路
电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计
2002年
文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号。
史强
靳鹏云
张福安
关键词:
软件设计
DY-5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题
被引量:1
1995年
本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台AMRAY系列电镜的电子光柱改造成DY-5型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。
武丰煜
唐文剑
张福安
安秉谦
关键词:
电子束曝光
DY-7型深亚微米电子束曝光系统的研究
主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标,并重点论述偏转器的优化设计。
王理明
张福安
薛虹
顾文琪
关键词:
电子束曝光机
偏转器
文献传递
网络资源链接
电子束投影曝光装置实验结果分析
2002年
主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点 ,针对在原理论证机上做的实验 。
初明璋
顾文琪
张福安
彭开武
时东霞
关键词:
光刻
电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用
被引量:1
2002年
介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。
史强
靳鹏云
张福安
基于SEM纳米级电子束曝光机的快速束闸设计
被引量:2
2008年
基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求。在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光。从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计。
刘俊标
方光荣
靳鹏云
薛虹
张福安
顾文琪
关键词:
电子束曝光
扫描电子显微镜
图形发生器
亚微米电子束曝光机工件台控制系统
1995年
激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要功能是完成图形的拼接。本文描述了双频激光干涉仪,计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的x-y工件台,该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。
张福安
谭敏
关键词:
电子束曝光机
双频激光干涉仪
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