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董立敏

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:北京工业大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇调谐
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇腔面
  • 1篇面发射
  • 1篇面发射激光器
  • 1篇可调
  • 1篇可调谐
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇发射激光器
  • 1篇VCSEL
  • 1篇DBR
  • 1篇波长
  • 1篇波长可调
  • 1篇波长可调谐
  • 1篇垂直腔
  • 1篇垂直腔面
  • 1篇垂直腔面发射
  • 1篇垂直腔面发射...

机构

  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇郭霞
  • 1篇沈光地
  • 1篇董立敏
  • 1篇王红航
  • 1篇达小丽
  • 1篇关宝璐
  • 1篇陈敏
  • 1篇渠红伟

传媒

  • 1篇中国电子学会...

年份

  • 1篇2005
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
波长可调谐垂直腔面发射激光器可动顶DBR的研究与制备
本文研究、设计了应用在波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)上的MEMS悬臂梁结构,考虑到悬臂梁自身应力的影响,通过PECVD高低频交替生长的办法改变Si3N4薄膜应力,使多层SiO2和Si3N4薄膜之间的应力减小,...
关宝璐郭霞王红航渠红伟达小丽董立敏陈敏沈光地
关键词:VCSEL悬臂梁调谐激光器
文献传递
共1页<1>
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