郝莹莹
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：河北师范大学物理科学与信息工程学院更多>>
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- 氢气甚高频与高频容性耦合放电等离子体特征的比较
- 2011年
- 开发了氢气甚高频(60MHz)容性耦合放电的PIC/MC模型。在模型中考虑了带电粒子(e,H+,H2+,H3+)与H2的21种碰撞反应过程,模拟了氢气甚高频放电射频电场和电势分布以及电子和氢离子(H+,H2+,H3+)粒子密度和平均能量分布,并与频率为13.56MHz的放电结果进行了比较。结果表明,相对于频率13.56MHz的放电,氢气甚高频放电等离子体电势增高,导致两电极附近的电场增强;另外,两鞘层厚度变窄并且电子和H3+离子平均能量减小,其总密度却增加。H3+离子为氢气甚高频放电空间的主要离子,H2+离子密度比H3+离子小约2～3个数量级。
- 姚福宝郝莹莹张连珠赵海涛
- N_2-Ar射频放电表面氮化的等离子体特性模拟
- 2012年
- N2-Ar射频放电等离子体广泛应用于微电子工业的刻蚀、氮化物薄膜的制备及金属表面氮化等技术领域。开发了N2-Ar混合气体容性耦合射频放电PIC/MC自洽模型,模型主要描述了e-,N2+,N+,Ar+等主要带电粒子的行为分布。等离子体的碰撞过程分别考虑了带电粒子(e-,N2+,N+,Ar+)与基态中性N2分子和Ar原子的21种碰撞反应过程。模拟结果表明,在纯N2及N2-Ar混合气体容性耦合射频放电中,各种带电粒子的数密度都在等离子体区达到最大值,且氮分子离子为主要粒子;在N2容性耦合射频放电中,加入10%氩气时,N+平均能量有所增加,在射频电极处两种氮离子(N2+,N+)高能粒子所占比例增加。本研究对认识N2-Ar射频放电等离子体过程微观机理具重要意义。
- 孙倩杨莹赵海涛郝莹莹张连珠赵国明
- H_2-N_2甚高频放电原子态粒子的流密度
- H_2-N_2甚高频容性耦合放电等离子体广泛应用于有机低介电系数的刻蚀,无晶氢化硅薄膜沉积和一些微电子设备的表面处理等领域。本文采用PIC/MCC混合自治模型,在频率为60MHz,气压为133.3Pa,射频电压为120V...
- 郝莹莹张连珠
- 文献传递
- N_2-H_2容性耦合等离子体电非对称效应的particle-in-cell/Monte Carlo模拟
- 2014年
- H_2-N_2混合气体电容性耦合射频放电在有机低介电系数材料刻蚀中具潜在研究意义.采用paxticle-incell/Monte Carlo模型模拟了双频(13.56 MHz/27.12 MHz)电压源分别接在结构对称的两个电极上的H_2-N_2容性耦合等离子体特征,研究了其电非对称效应.模拟结果表明,通过调节两谐波间的相位角θ,可以改变其电场、等离子体密度、离子流密度的轴向分布及离子轰击电极的能量分布.当相位角θ为0°时,低频电极(晶片)附近主要离子(H_3^+)的密度最小,离子(H_3^+,H_2^+,H^+)轰击低频电极的流密度及平均能量最高;当θ从0°变化90°时,低频电极的自偏压从-103V到106V近似线性增加,轰击电极的离子流密度变化约±18%,H^+离子轰击低频电极的最大能量约减小2.5倍,轰击电极的平均能量约变化2倍,表明氢离子能量和离子流几乎能独立控制.
- 郝莹莹孟秀兰姚福宝赵国明王敬张连珠
- 关键词：PARTICLE-IN-CELLMONTE
