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文献类型

  • 10篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 3篇金属学及工艺

主题

  • 6篇微结构
  • 4篇探测器
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  • 4篇红外探测
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机构

  • 11篇北京有色金属...
  • 5篇清华大学
  • 2篇北京大学

作者

  • 11篇安生
  • 11篇邵贝羚
  • 11篇刘安生
  • 6篇王敬
  • 5篇钱佩信
  • 5篇刘峥
  • 3篇朱其芳
  • 3篇李东飞
  • 3篇王瑞忠
  • 2篇付军
  • 2篇徐军
  • 1篇王福生
  • 1篇孙继光
  • 1篇陈朝庆

传媒

  • 5篇电子显微学报
  • 3篇稀有金属
  • 1篇电子学报
  • 1篇现代仪器
  • 1篇第十一次全国...

年份

  • 2篇2002
  • 1篇2001
  • 2篇2000
  • 2篇1999
  • 2篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1996
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
透射电镜CCD数字图像接收处理系统被引量:5
1999年
本文简单介绍了积累型TV扫描CCD数字成像处理系统,并将该系统成功地安装于北京有色金属研究总院的JEM-2000FX透射电镜上。
陈朝庆邵贝羚孙继光刘安生安生
关键词:数字图像图像处理透射电镜CCD
低压等离子喷涂涂层膜基界面结合能的研究被引量:4
2002年
用努氏界面印痕法 ,对铁基Ni/Fe、镍基Cu/Ni低压等离子喷涂涂层的膜基界面进行界面结合能的研究 ,分析得到涂层界面的断裂表面能。分析得出铁基纯镍Ni/Fe涂层界面的断裂表面能比镍基铜Cu/Ni涂层的断裂表面能高。界面微观分析表明 ,镍基铜Cu/Ni涂层材料疏松 ,膜基界面存在较多裂纹 ,另外涂层和基体观察不到元素扩散层。Ni/Fe涂层界面结合致密 ,约有 2~ 3 μm的元素扩散层。
朱其芳邵贝羚刘安生安生王福生李东飞
关键词:低压等离子喷涂涂层
Si(Ge)MOSFET器件微结构的研究
1997年
采用横断面的透射电子显微术、扫描电子显微术和高分辨电子显微学方法,研究了GeSi沟道p-MOSFET的微结构。观察表明,器件是由Si基片/SiO2非晶层/SOISi层/GeSi沟道层/超薄SiO2非晶层/Si细晶层/SiO2非晶层/Al电极层等组成的;SOISi层工作区单晶性良好,很难找到缺陷,缺陷能有效地被限制在工作区两侧的缺陷聚集区;在SOISi层和GeSi沟道层之间存在着一些瓣状衬度,它可能是在分子束外延(MBE)方法生长GeSi层时所引入的位错环,Si细晶层是由无择优取向的、柱状生长的细晶粒组成;
刘安生安生邵贝羚王敬付军栾洪发钱佩信
关键词:MOSFET微结构多层膜电子显微术
Ni/Fe低压等离子喷涂界面微结构及界面断裂的研究
2002年
采用透射电镜 (TEM)、X射线能量散射谱 (EDS)等方法研究了Ni Fe低压等离子喷涂界面的微结构特征。试验结果表明 :Ni Fe试样界面结合良好 ,界面层为晶态Fe和Ni的氧化物 ,上面弥散分布着纳米尺寸的 (Fe ,Ni)金属间化合物相 ,界面区存在明显的元素扩散。本文对Ni
李东飞邵贝羚刘安生安生朱其芳
关键词:微结构低压等离子喷涂
P-MOSFET的TEM研究被引量:2
1996年
P-MOSFET的TEM研究*刘安生安生邵贝羚王敬付军钱佩信(北京有色金属研究总院,100088北京)(清华大学微电子研究所,100084北京)空穴的迁移率远低于电子迁移率,与N-MOSFET相比P-MOSFET的最大缺点就是电流驱动能力弱。为此,人...
刘安生安生邵贝羚王敬付军钱佩信
关键词:P-MOSFETTEM场效应器件
红外探测器中的异质界面和缺陷的研究
2000年
刘安生邵贝羚安生刘峥王敬
关键词:红外探测器
金属基低压等离子喷涂界面的结合性能及微结构研究被引量:10
2001年
采用奴氏印痕法、X射线衍射技术 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、透射电子显微镜 (TEM)、X射线能量散射谱 (EDS)等方法研究了Ni/Fe ,Cu/Ni低压等离子喷涂材料的喷涂界面结合性能及微结构特征。喷涂界面的结合性能与其微结构、微成分特征密切相关。Ni/Fe试样具有结合良好的界面 ,界面层为在晶态 (Fe ,Ni)氧化物上弥散分布着纳米级 (Fe,Ni)金属间化合物细晶的结构 ,界面区有明显的元素扩散 ;Cu/Ni试样喷涂界面层为典型的非晶相 ,界面区未见明显的元素扩散。不同微观特征的喷涂界面对应的宏观界面结合性能有明显差异 ,Ni/Fe喷涂界面结合强度明显优于Cu/Ni喷涂界面。对Ni/Fe。
李东飞邵贝羚刘安生安生朱其芳
关键词:微结构低压等离子喷涂非晶相
P^+-Si_(1-x)Ge_x/p-Si红外探测器微结构的研究
1998年
随着遥感遥测科学技术的发展和军事上的需要,红外探测器及红外焦平阵列的应用日益迫切[1]。P+-Si1-xGex/p-Si异质结内光发射红外探测器因其具有易和CMOS或CCD读出电路实现单片集成,工艺简单,成本较低,可同时工作于3~5μm和8~14μm...
刘安生邵贝羚安生刘峥徐军王瑞忠钱佩信
关键词:微结构异质结红外探测器
红外探测器中的异质界面和缺陷的研究
刘安生邵贝羚安生刘峥王敬
文献传递
层叠结构的Si_(0.65)Ge_(0.35)/Si红外探测器的微结构研究
1999年
采用定位的横断面透射电子显微术观察了P+Si065Ge035/pSi异质结内光发射红外探测器的微结构.该器件光敏区由6层p+Si065Ge035和5层UDSi层组成,每层都比较平整,各层厚度分别为6nm和32nm.在Si065Ge035/UDSi界面处存在应力场,但未观察到晶体缺陷.非晶SiO2台阶上的Si065Ge035和UDSi层是波浪状的多晶层.光敏区的边界处存在小于120nm宽的缺陷区。
刘安生邵贝羚安生刘峥王敬王瑞忠钱佩信
关键词:红外探测器异质结半导体器件微结构
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