张昆辉
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 供职机构：台湾清华大学更多>>
- 发文基金：广东省教育厅自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 铝掺杂氧化锌薄膜在玻璃衬底上的RF反应共溅射低温织构生长被引量：8
- 2003年
- 以金属锌 ( Zn)和铝 ( Al)为靶材采用射频 ( RF)反应共溅射技术在低温 ( 2 0 0℃ )玻璃衬底上沉积了铝掺杂氧化锌 ( Zn O∶ Al)薄膜 .运用扫描电子显微镜 ( SEM)、能量色散 X射线谱 ( EDX)、表面轮廓仪 (α- Step)、X射线衍射( XRD)和双光束紫外 -可见光谱仪 ( U V- VIS)等分别对沉积样品的表面和断面的形貌结构、组成成分和光学特性进行了分析表征 .研究了反应气体氧与氩流量比 ( O2 / Ar)和 RF溅射功率对沉积样品的生长速率、结构特征和光电学性质的影响 .结果表明 ,薄膜的成长速率强烈依赖于 RF溅射功率 ,而薄膜的结构形貌和成分的化学配比则主要由反应气体流量比 O2 / Ar决定 .通过对沉积参数的优化但未经退火处理 ,得到了六角纤锌矿结构单一 ( 0 0 0 2 )结晶方向的 Zn O∶ Al薄膜 ,其可见光透过率达 85 % ,电阻率在 10 - 1 ～ 10 3Ω· cm之间 .实验发展的低温 RF共溅射技术不仅具有造价低廉、工艺简单可靠和材料来源广泛等特点 ,而且还能有效防止器件底层材料间的互扩散 ,沉积薄膜的性能基本符合光电器件涂层特别是薄膜太阳电池窗口层应用的要求 。
- 邵乐喜张昆辉黄惠良
- 关键词：织构
- 用于太阳电池吸收层CuInS_2薄膜的RF反应溅射制备及其表征被引量：4
- 2004年
- 该文报道采用射频反应溅射技术,以铜银合金为靶材、H2S为反应气体,在Soda-Lime玻璃衬底上沉积高质量CuInS2薄膜的实验结果。分别运用扫描电镜、能量散射X-射线谱、X-射线衍射谱和表面轮廓仪等对沉积样品的结构形貌和组成成分等特性进行了分析表征,研究了这些特性对沉积参数的依赖关系。通过对溅射功率、衬底温度和H2S流量等工艺参数的优化,获得了单一黄铜矿相结构且沿单一晶向(112)生长的高质量富铜薄膜,晶粒线度达400 nm,薄膜中成分的原子比[Cu+In]/[S]和[Cu]/[Cu+In]可分别接近于1和0.5,并对结果进行了简单讨论。该技术成本低廉、可靠性高,适合于高效太阳电池吸收层薄膜的高均匀度大面积沉积,具有规模化工业生产的推广价值。
- 邵乐喜张昆辉黄惠良
- 关键词：太阳电池
- 用于太阳电池吸收层CuInS<,2>薄膜的RF反应溅射制备及其表征
- 三元化合物半导体CuInS<,2>,由于具有与太阳光谱非常匹配的宽直接带隙(1.55eV),而成为优良的高效薄膜太阳电池吸收层材料.本文报道采用射频(RF)反应溅射技术,以铜银(Cu-In)合金为靶材、H<,2>S为反应...
- 邵乐喜张昆辉黄惠良
- 关键词：太阳电池
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