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无Cd薄膜CuInS2太阳电池的低成本全程溅射技术制作: 本文提出了一种新的无Cd薄膜CuInS太阳电池的工业化生产技术,通过运用全程溅射工艺降低制作成本。为改善短波段的量子效率和增大短路电流,采用反应溅射制作了ZnS薄膜代替CdS作为缓冲层避免了对环境的污染。所制得的ZnO:...; 邵乐喜黄惠良; 文献传递

铝掺杂氧化锌薄膜在玻璃衬底上的RF反应共溅射低温织构生长被引量：8: 2003年; 以金属锌 ( Zn)和铝 ( Al)为靶材采用射频 ( RF)反应共溅射技术在低温 ( 2 0 0℃ )玻璃衬底上沉积了铝掺杂氧化锌 ( Zn O∶ Al)薄膜 .运用扫描电子显微镜 ( SEM)、能量色散 X射线谱 ( EDX)、表面轮廓仪 (α- Step)、X射线衍射( XRD)和双光束紫外 -可见光谱仪 ( U V- VIS)等分别对沉积样品的表面和断面的形貌结构、组成成分和光学特性进行了分析表征 .研究了反应气体氧与氩流量比 ( O2 / Ar)和 RF溅射功率对沉积样品的生长速率、结构特征和光电学性质的影响 .结果表明 ,薄膜的成长速率强烈依赖于 RF溅射功率 ,而薄膜的结构形貌和成分的化学配比则主要由反应气体流量比 O2 / Ar决定 .通过对沉积参数的优化但未经退火处理 ,得到了六角纤锌矿结构单一 ( 0 0 0 2 )结晶方向的 Zn O∶ Al薄膜 ,其可见光透过率达 85 % ,电阻率在 10 - 1 ～ 10 3Ω· cm之间 .实验发展的低温 RF共溅射技术不仅具有造价低廉、工艺简单可靠和材料来源广泛等特点 ,而且还能有效防止器件底层材料间的互扩散 ,沉积薄膜的性能基本符合光电器件涂层特别是薄膜太阳电池窗口层应用的要求。; 邵乐喜张昆辉黄惠良; 关键词：织构

氢化非晶硅薄膜的制备与工艺参数优化被引量：1: 2016年; 采用间接型射频等离子体增强化学气相沉积方法,通过改变H_2/SiH_4气流量比、工艺功率和工艺压强,制备出了氢化非晶硅薄膜。研究了H_2/SiH_4气流量比、工艺功率以及工艺压强对非晶硅薄膜光学特性的影响。实验结果表明,该方法可以制备出氢化非晶硅薄膜,且通过改变实验条件,可以改变薄膜微观结构及成分;随着H_2/SiH_4气流量比的增加,SiH化合物含量增加,多氢化合物含量降低;适当增加射频功率,可以提高薄膜表面的均匀性,同时,功率的增加会使氢含量增加;此外,薄膜表面氢含量随工艺气压的降低而减小。; 朱永航刘一剑黄霞黄惠良; 关键词：氢化非晶硅薄膜微观结构

用于太阳电池吸收层CuInS_2薄膜的RF反应溅射制备及其表征被引量：4: 2004年; 该文报道采用射频反应溅射技术,以铜银合金为靶材、H2S为反应气体,在Soda-Lime玻璃衬底上沉积高质量CuInS2薄膜的实验结果。分别运用扫描电镜、能量散射X-射线谱、X-射线衍射谱和表面轮廓仪等对沉积样品的结构形貌和组成成分等特性进行了分析表征,研究了这些特性对沉积参数的依赖关系。通过对溅射功率、衬底温度和H2S流量等工艺参数的优化,获得了单一黄铜矿相结构且沿单一晶向(112)生长的高质量富铜薄膜,晶粒线度达400 nm,薄膜中成分的原子比[Cu+In]/[S]和[Cu]/[Cu+In]可分别接近于1和0.5,并对结果进行了简单讨论。该技术成本低廉、可靠性高,适合于高效太阳电池吸收层薄膜的高均匀度大面积沉积,具有规模化工业生产的推广价值。; 邵乐喜张昆辉黄惠良; 关键词：太阳电池

纳米Ag-Cu粉在多晶硅太阳能电池银浆中的应用: 2017年; 采用稻米中淀粉作为稳定剂,氢氧化钠作为还原剂的方法制备了银铜纳米颗粒。利用扫描电子显微镜在高倍数下观察Ag-Cu纳米颗粒表面形貌;通过透射电镜定性分析了银铜纳米颗粒的空间结构;通过X线光电子能谱分析得到粉末中元素成分及其相对含量;通过热重分析定量地确定了太阳能电池的烧结工艺;通过太阳能模拟器分别对正电极浆料中加入纳米Ag-Cu颗粒(质量分数为10%)前、后的多晶硅电池片进行光电性能测量。结果显示,在银浆中加入了质量分数为10%的纳米Ag-Cu后,电池片的各参数都有提高,其光电转化效率提高了5.65%。实验表明,利用Cu纳米颗粒取代部分Ag纳米颗粒,可提高电池的光电转化效率。; 黄霞金菘王堃范贺贺黄惠良; 关键词：丝网印刷太阳能电池

Zn和Pb掺杂对YBCO高温超导的结构和超导性能的影响: 本论文采用无氟的金属有机物沉积(FF-MOD)法，在沉积有LaMnO3/MgO/Y2O3/Al2O3 缓冲层的哈氏合金衬底上，制备了Zn 和Pb 掺杂的YBCO 高温超导薄膜。系统地研究了Zn 和Pb 掺杂分别对YBCO...; 金成超俞梦婕黄惠良; 关键词：YBCO MOD 高温超导临界电流密度

ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上射频溅射ZnO:Al薄膜的SEM研究: 2005年; 结合ZnO薄膜在Cu-Ⅲ-Ⅵ2基薄膜太阳电池上的应用,采用射频磁控溅射技术以陶瓷ZnO:Al2O3为靶材在ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上于固定沉积条件下低温(200℃)制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)薄膜.运用扫描电子显微镜研究了底层材料特别是ZnS和CuInS2的生长参数对沉积的ZnO:Al薄膜的表面形貌的影响.实验发现,衬底材料中硫含量的增加(无论来自ZnS还是来自CuInS2),都会引起沉积ZnO:Al薄膜结晶质量的提高,而金属含量的增大将有利于薄膜均匀性的改进.; 邵乐喜刘小平黄惠良; 关键词：射频溅射扫描电镜

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黄惠良