李浩川
- 作品数：16 被引量：22H指数：3
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 基于多层膜技术的硬X射线Laue透镜衍射效率的理论研究被引量：2
- 2009年
- 采用耦合波理论分析了X射线在多层膜Laue透镜中的传播,选择Cu的Kα线作X射线光源,计算了多层膜Laue透镜的衍射效率.材料为WSi2/Si,最外层宽度为10 nm,深度为8 500 nm的多层膜Laue透镜,倾斜情况下外层区域局部光栅的衍射效率可达59%,理论上证明了多层膜Laue透镜是实现X射线聚焦的有效手段.
- 黄秋实李浩川朱京涛桑田王占山陈玲燕
- 关键词：X射线光学多层膜耦合波理论
- 极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性被引量：8
- 2013年
- 采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性。对放置在室温和80%相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC两种多层膜结构在相同环境中的损坏状况。对比结果显示:放置4天后,Mg/SiC损坏面积为26.34%,表面粗糙度为10nm;Mg/Co的损坏面积为2.78%,表面粗糙度为5nm。6天后,X射线掠入射反射率测量显示Mg/SiC多层膜一级反射峰完全消失,而Mg/Co多层膜的一级反射峰仍有47.63%的反射率。实验表明,Mg/Co多层膜的表面层和内部多层膜结构的损坏速度较Mg/SiC慢,具有较好的环境稳定性。另外,X射线光电子谱(XPS)测试Mg基多层膜损坏后的产物主要为MgCO3、Mg(OH)2和少量的MgO,且内层Mg(OH)2与MgCO3含量的比值显著高于表面层。分析认为,水汽是造成Mg基多层膜损坏的主要原因,今后Mg基多层膜保护层的研究可主要针对如何防止水汽进入膜层。
- 朱京涛宋竹青丁涛马爽李浩川
- 关键词：稳定性
- Co/Mo_2C多层膜热稳定性及界面特性研究
- 2015年
- 为研究多层膜反射镜的热稳定性,设计制备了工作在778eV处的Co/Mo2C多层膜,研究了多层膜在退火实验中的热稳定性及界面结构的变化。通过X射线反射测试表征及拟合退火前后多层膜的结构信息,并用X射线衍射表征多层膜退火过程中膜层晶相结构的变化。结果表明,多层膜的界面质量较好,未退火样品处于无定形态。在退火过程中,周期厚度变化小,多层膜的热稳定性优异。随着退火温度的升高,在Mo2C-on-Co界面处,Co从Co-C混合区域中析出生成Co3Mo晶粒,界面扩散程度加大,从而Co-on-Mo2C界面的热稳定性要优于Mo2C-on-Co界面。
- 冯志祥李浩川朱京涛吴文娟
- 关键词：多层膜热稳定性
- 硬X射线微聚焦多厚度比复合多层膜Laue透镜
- 本发明涉及硬X射线微聚焦多厚度比复合多层膜Laue透镜，针对透镜结构中，从中心到外层不同区域的局部光栅选择不同的膜层厚度比γ(以WSi<Sub>2</Sub>/Si材料组合为例，γ＝d<Sub>si</Sub>/(d<S...
- 朱京涛黄秋实李浩川王占山
- 文献传递
- 极紫外Mg/Si多层膜的改进和表征
- 本文研究通过在Mg/Si多层膜引入Mo或SiC阻隔层的界面工程法来提高多层膜的光学性能。采用磁控溅射法镀制多层膜，X射线和极紫外反射法表征多层膜。测试结果表明，引入双层SiC阻隔层的Mg/SiC/Si/SiC多层膜与Mg...
- 周斯卡王晓强李浩川黄秋实蒋励张众朱京涛王占山
- 关键词：光学性能
- 磁控溅射制备Ni/Ti多层膜表面粗糙度被引量：5
- 2010年
- 采用磁控溅射方法制备了周期数分别为10,30,50和75的Ni/Ti多层膜,利用X射线掠入射反射测量了多层膜表面和界面的状态,并用原子力显微镜测量了多层膜的表面粗糙度,研究了不同周期数的Ni/Ti多层膜表面粗糙度的变化规律。结果表明:Ni/Ti多层膜表面粗糙度随着膜层数增加而增加,当Ni/Ti多层膜的周期数从10变化到75时,其表面粗糙度由0.80 nm增大到1.69 nm。实验数据拟合表明:Ni/Ti多层膜表面粗糙度与周期数成3次方关系;但在周期数较小时,粗糙度与周期数成线性关系。
- 潘磊朱京涛王晓强蒋励李浩川徐敬张众王占山陈玲燕
- 关键词：粗糙度原子力显微镜
- 硬X射线微聚焦高级次多层膜Laue透镜
- 本发明涉及硬X射线微聚焦高级次多层膜Laue透镜，通过改变组成多层膜Laue透镜局部光栅的2种材料的厚度比(γ＝d<Sub>A</Sub>/(d<Sub>A</Sub>+d<Sub>B</Sub>)，A为吸收层，B为间隔...
- 黄秋实朱京涛李浩川王占山
- 文献传递
- 硬X射线微聚焦高级次多层膜Laue透镜
- 本发明涉及硬X射线微聚焦高级次多层膜Laue透镜，通过改变组成多层膜Laue透镜局部光栅的2种材料的厚度比(γ＝d<Sub>A</Sub>/(d<Sub>A</Sub>+d<Sub>B</Sub>)，A为吸收层，B为间隔...
- 黄秋实朱京涛李浩川王占山
- 文献传递
- 多层膜劳厄透镜对8keV X射线的聚焦性能模拟研究被引量：2
- 2011年
- 基于多层膜技术的劳厄(Laue)透镜能实现硬X射线纳米级聚焦,在X射线微纳分析领域具有重要的应用前景。基于衍射动力学理论,分析了X射线在多层膜劳厄透镜中的传播,计算了不同结构的多层膜劳厄透镜对8keVX射线的聚焦性能。结果表明,最外层厚度为5nm的倾斜多层膜劳厄透镜可获得5.7nm的聚焦光斑和26%的平均衍射效率。
- 李浩川黄秋实朱京涛王占山
- 关键词：X射线光学波带片分辨率
- Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法
- 本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜，最后镀制SiC作为保护层即可。本发明采用熔点高、相态稳定...
- 朱京涛周斯卡李浩川王占山
- 文献传递
