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公延宁
作品数:
5
被引量:11
H指数:1
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莫金玑
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中国科学院上海冶金研究所上海微...
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中国科学院广州能源研究所
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GaAs太阳电池帽层腐蚀研究──GaAs/AlGaAs薄膜体系的选择性腐蚀
被引量:1
1999年
由p+-GaAs帽层和p-AlxGa1-xAs(x=0·8—0.9)窗口层构成的异质薄膜体系是GaAs太阳电池器件中的常规结构。对该异质结构的只腐蚀GaAs而不腐蚀AlGaAs的选择性腐蚀工艺是GaAs太阳电池制备过程中的一道关键工序。针对传统腐蚀工艺中出现的腐蚀后露出的AlGaAs表面呈现彩色的问题,从改进腐蚀液配方角度,围绕通常采用的氨水-双氧水(NH4OH-H2O2)腐蚀液体系,对该问题作了深入细致的专门研究,并与柠檬酸-双氧水(C6H8O7-H2O2)和柠檬酸-柠檬酸钾-双氧水(C6H8O7-K3C6H5O7-H2O2)腐蚀液体系作对比,最终得到了较满意的氨水-双氧水-磷酸(NH4OH-H2O2-H3PO4)新腐蚀液体系。这种腐蚀液体系不仅可在较宽的溶液浓度范围内实现对高Al组分GaAs/AlGaAs异质结构的选择性腐蚀。
公延宁
汪乐
莫金玑
夏冠群
关键词:
太阳电池
砷化镓
颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池的研制
被引量:9
2002年
以工业硅粉为原料制备出颗粒硅带 (SSP) ,对颗粒硅带表面形态进行分析。以SSP为衬底 ,采用快速热化学气相沉积 (RTCVD)法生长多晶硅薄膜 ,并以此制作出效率为 2 93%的颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池 ,这在国内属首先。并报道了对以SSP为衬底的多晶硅薄膜太阳电池的初步研究结果 ,同时讨论了该类电源的结构。
梁宗存
许颖
公延宁
沈辉
李仲明
李戬洪
关键词:
颗粒硅带
多晶硅薄膜太阳电池
SSP
电源结构
MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究
2000年
从固态组分控制方面,对AlGaAs 的常压金属有机物气相外延(AP-MOVPE)生长技术进行了研究.首先,在假定体系中所涉及气体为理想气体的前提下,经理论推导,给出了AlGaAsAP-MOVPE生长过程中控制参数和Al在固、气相间的分配系数kAl之间的关系式.之后,依据该关系式分析实验数据,并对kAl的动力学行为规律进行了研究.结果表明,kAl值大小与AlAs 和GaAs 的生长效率(单位ⅢA 族原子输入量下材料的生长速率)之比K 的大小有关:kAl随K 的增加而增大;当K> 1 时,kAl> 1,当K< 1 时,kAl< 1,实际情况以前者居多;只有当K= 1 时才kAl= 1.此外,生成GaAs和AlAs 的表观反应活化能Ea1和Ea2的不同会导致K,进而kAl随生长温度发生变化:当Ea1> Ea2时,kAl随生长温度的升高而减小,当Ea1< Ea2时,kAl随生长温度的升高而增大,论文得到的结果属后种;只有当Ea1= Ea2时,kAl才不随生长温度发生变化.再者,kAl还会随Al在气相ⅢA 族原子中的原子百分含量xⅤAl的增加而减小.
公延宁
莫金玑
余海生
夏冠群
关键词:
镓铝砷化合物
气相外延
动力学
MOVPE
GaAs和AlGaAs掺碳MOVPE生长技术进展
被引量:1
1998年
C作为II-V族半导体中常用的p型掺杂剂,由于它的掺杂浓度极限高和扩散系数低,逐渐引起人们的关注,并在许多应用中显示出潜力而有望代替常规的p型掺杂剂,如Zn和Be。根据近期研究成果,对采用MOVPE技术生长的掺CGaAs和AlGaAs性能研究中的若干方面给予了系统介绍和讨论。在此基础上对其应用作了总结,并对今后工作提出了几点建议。
公延宁
莫金玑
夏冠群
关键词:
半导体
MOVPE
砷化镓
颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池的研制
本文分析了以颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜太阳电池研究的可行性和必要性,并以颗粒硅带为衬底,采用快速热化学气相沉积(RTCVD)法生长多晶硅薄膜,以此制备出转换效率为2.4%的颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池,这在国内尚属首先。报...
沈辉
梁宗存
公延宁
李戬洪
许颖
罗欣莲
励旭东
黎雪梅
李仲明
关键词:
颗粒硅带
多晶硅薄膜太阳电池
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