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胡淞

作品数：6 被引量：24H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：“八五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 6篇电子电信

主题

  • 5篇光刻
  • 4篇光刻机
  • 3篇投影光刻
  • 3篇投影光刻机
  • 2篇调平
  • 2篇套刻
  • 2篇分步重复光刻...
  • 2篇IC
  • 1篇电路
  • 1篇调焦
  • 1篇调焦机构
  • 1篇柔性铰链
  • 1篇数学模型
  • 1篇坐标系
  • 1篇六自由度
  • 1篇控制系统
  • 1篇集成电路
  • 1篇铰链
  • 1篇硅片
  • 1篇分步重复投影...

机构

  • 6篇中国科学院

作者

  • 6篇胡淞
  • 5篇姚汉民
  • 3篇张津
  • 2篇苏伟军
  • 1篇唐小萍
  • 1篇李展
  • 1篇唐小平

传媒

  • 3篇光电工程
  • 2篇微细加工技术
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 2篇1999
  • 4篇1998
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
0.8～1μm分步重复投影光刻机六自由度硅片定位系统设计与计算被引量：6
1998年
介绍用于０．８～１μｍ分步重复投影光刻机的六自由度硅片定位系统。讨论了气足、承片台系统及ＳＴＡＭＰ的设计和计算方法，并给出了设计数据与计算结果。本系统在Ｘ、Ｙ１、Ｙ２三个方向达到了±０．１μｍ（３σ）的重复定位精度、±５０ｎｍ的调焦分辨力和５μｍ／全片的调平精度。
胡淞苏伟军
关键词：分步重复光刻机调焦调平光刻
投影光刻机的坐标系与套刻步进模型被引量：6
1998年
本文介绍 0 .35μm(亚半微米 )投影光刻机的机器、硅片、掩模、硅片对准、掩模对准等的坐标系 ,并根据各坐标系讨论套刻时硅片工件台的步进模型。
胡淞姚汉民
关键词：投影光刻机坐标系大规模集成电路
高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究被引量：2
1999年
主要介绍一种高精度逐场调焦调平实时动态控制算法。逐场动态精确求解耦合传递矩阵和解耦矩阵，将每个 Ｃ Ｈ Ｉ Ｐ的坐标位置和尺寸纳入耦合关系，使各控制回路实时独立调节，以满足系统稳定和高精度实时逐场调焦调平。
张津姚汉民唐小平胡淞
关键词：IC光刻
高精度逐场调焦调平控制系统数学模型分析
1999年
详细介绍了基于硅片ＣＨＩＰ中心坐标的高精度逐场调焦调平控制系统数学模型，并简要给出了系统控制算法。
张津姚汉民唐小萍胡淞
关键词：数学模型控制系统硅片
0.35μm投影光刻机的逐场调平技术与套刻步进模型被引量：4
1998年
介绍用于 0 .35μm投影光刻机的逐场调平技术 ,讨论其检测和控制原理 ,并作精度分析 ;讨论逐场调平对套刻精度的影响 ,并建立三轴测量逐场调平的套刻步进模型。
胡淞姚汉民张津李展曾晓阳苏伟军
关键词：投影光刻机IC
高分辨力高导向精度柔性铰链调焦机构被引量：8
1998年
介绍一种用于亚微米曝光系统的柔性铰链调焦机构，讨论了其设计与计算方法，这种机构得到了２０ｎｍ的分辨力、２００μｍ的行程和小于１弧秒的导向精度。这是一种适合纳米定位的理想机构。
胡淞姚汉民
关键词：分步重复光刻机调焦机构铰链光刻机
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