陈瑶
- 作品数：5 被引量：18H指数：1
- 供职机构：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信动力工程及工程热物理更多>>
- 太阳能产业的真空解决方案的最新进展
- 使用可再生能源是解决化石燃料枯竭和全球变暖问题的根本方法。应用高新技术促进可再生能源的应用，保护环境将是未来产业和经济发展的主旋律。真空技术是光伏(太阳能)产业的核心技术之一，它广泛的应用于基片制造，薄膜淀积和电池封装等...
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：太阳能可再生能源真空技术层压工艺
- 文献传递
- 国外高真空直排大气干泵研发的最新进展
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化，人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年，国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：干式真空泵高真空半导体设备
- 文献传递
- 国外高真空直排大气干泵的发展现状
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：干式真空泵高真空
- 文献传递
- 国外高真空直排大气干泵的发展现状
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：干式真空泵高真空
- 文献传递
- 高真空直排大气干泵的最新进展被引量：18
- 2008年
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：干式真空泵高真空
