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韩星

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京理工大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 4篇机械工程

主题

  • 8篇物镜
  • 8篇光刻
  • 8篇光刻物镜
  • 6篇数值孔径
  • 6篇投影光刻
  • 6篇投影光刻物镜
  • 4篇分辨率
  • 4篇高分辨率
  • 2篇元件位置
  • 2篇深紫外
  • 2篇透镜
  • 2篇球面
  • 2篇球面投影
  • 2篇紫外光刻
  • 2篇像差
  • 2篇像质
  • 2篇工作波长
  • 2篇氟化
  • 2篇氟化钙
  • 2篇波长

机构

  • 8篇北京理工大学

作者

  • 8篇常军
  • 8篇李林
  • 8篇马斌
  • 8篇刘丽辉
  • 8篇黄一帆
  • 8篇韩星
  • 8篇李艳秋

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 3篇2011
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
高分辨率福布斯非球面光刻物镜
本发明涉及一种高分辨率福布斯非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域；具体包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有6个表面使用了福布斯非球面；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中氟化钙的作...
李林马斌李艳秋刘丽辉韩星常军黄一帆
高分辨率非球面光刻物镜
本发明涉及一种高分辨率非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明的高分辨率非球面光刻物镜包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有3个表面使用了10次非球面；透镜材料使用熔石英和氟...
李林马斌李艳秋刘丽辉韩星常军黄一帆
文献传递
光刻物镜非球面位置选择方法
本发明涉及一种基于系统Zernike波像差分析与光刻过程对于Zernike系数敏感性的光刻物镜非球面位置选择方法，属于非球面光学设计技术领域。本方法首先确定初始系统结构中各元件位置与视场和孔径的关系，分析各类像差对于孔径...
李林马斌李艳秋刘丽辉韩星常军黄一帆
文献传递
光刻物镜非球面位置选择方法
本发明涉及一种基于系统Zernike波像差分析与光刻过程对于Zernike系数敏感性的光刻物镜非球面位置选择方法，属于非球面光学设计技术领域。本方法首先确定初始系统结构中各元件位置与视场和孔径的关系，分析各类像差对于孔径...
李林马斌李艳秋刘丽辉韩星常军黄一帆
深紫外全球面光刻物镜
本发明涉及一种深紫外全球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明提出了一种照明系统工作波长为193nm，数值孔径达到0.75的深紫外光刻物镜，该物镜结构紧凑、大视场、成像质量优良，各镜片全部使用球面，降低了加...
李林马斌李艳秋刘丽辉韩星常军黄一帆
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高分辨率福布斯非球面光刻物镜
本发明涉及一种高分辨率福布斯非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域；具体包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有6个表面使用了福布斯非球面；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中氟化钙的作...
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深紫外全球面光刻物镜
本发明涉及一种深紫外全球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明提出了一种照明系统工作波长为193nm，数值孔径达到0.75的深紫外光刻物镜，该物镜结构紧凑、大视场、成像质量优良，各镜片全部使用球面，降低了加...
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高分辨率非球面光刻物镜
本发明涉及一种高分辨率非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明的高分辨率非球面光刻物镜包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有3个表面使用了10次非球面；透镜材料使用熔石英和氟...
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