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任尧成
作品数:
9
被引量:4
H指数:2
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
陈建新
中国科学院上海冶金研究所上海微...
李爱珍
中国科学院上海冶金研究所上海微...
李爱珍
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张永刚
中国科学院上海冶金研究所上海微...
齐鸣
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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1992
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厚膜GaN衬底上的GaN生长及特性研究
用多种生长方法相结合的方法来降低GaN基材料与异质衬底之间的大失配问题,是提高材料质量的重要方法.本文介绍了原膜GaN衬底上的GaN生长方法,并用双晶X射线衍射仪及紫外一可见光栅光谱仪对所得材料进行了表征测量.
任尧成
李伟
李存才
李爱珍
关键词:
GAN
半导体材料
文献传递
MOCVD法生长Ga_(l-X)In_xAs_(l-y)Sb_y的物化研究
1992年
为更好地控制MOCVD Ⅲ-Ⅴ族锑化物的生长,改进外延层性质,本文用物理化学方法研究了Ga_(1-x)In_xAs_(1-y)Sb_y合金的生长过程。用热力学的“平衡模型”计算了铟和锑的分配系数及外延层固相组成与生长条件的关系,用化学动力学方法推导了当外延过程为物质扩散控制、化学反应控制及混合控制时的外延层生长速率公式,结果均符合实验规律。
韦光宇
彭瑞伍
任尧成
丁永庆
关键词:
MOCVD
δ-掺杂GaAs/AlxGa_(1-x)As二维电子气结构材料的GSMBE生长与特性
1996年
本文用GSMBE技术生长纯度GaAs和δ-掺杂GaAs/Al_xGa_(1-x)As结构二维电子气材料并对其电学性能进行了研究。对于纯度GaAs的GSMBE生长和研究,在低掺Si时,载流子浓度为2×10^(14)cm^(-3),77K时的迁移率可达84,000cm~2/V.s。对于用GSMBE技术生长的δ-掺杂GaAs/Al_xGa_(1-x)As二维电子气材料,在优化了材料结构和生长工艺后,得到了液氮温度和6K迁移率分别为173,583cm~2/V.5和7.67×10~5cm~2/V.s的高质量GaAs/Al_xGa_(1-x)As二维电子气材料。
陈建新
李爱珍
齐鸣
任尧成
关键词:
GSMBE
二维电子气
掺杂
半导体材料
气态源分子束外延InGaP/GaAs结构及其在异质结双极晶体管中的应用
被引量:2
1995年
本文研究了InGaP/GaAs异质结构的气态源分子束外延(GSMBE)生长,所得样品晶格失配率△α/α<8.95×10 ̄(-5),本底载流子浓度为10 ̄(15)cm ̄(-3)数量级,掺硅n型样品的载流子浓度控制范围可达2×10 ̄(15)~4×10 ̄(18)cm ̄(-3)。研究了P_2和As_2气氛的切换条件对InGaP/GaAs异质结构界面特性的影响,并成功地生长了InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)结构材料,用此材料在国内首次制成的HBT器件fr=25GHz,f_(max)=46GHz,电流增益β=40,最高可达β=150。
齐鸣
李爱珍
任尧成
陈建新
张永刚
李存才
关键词:
双极晶体管
GSMBE
InP基OEIC单元及其集成接收机结构材料的GSMBE一次生长
陈建新
李爱珍
杨全魁
任尧成
关键词:
INP
GSMBE生长
InAlAs/InGaAsMSM光电探测器
被引量:2
1995年
采用GSMBE方法及典型的器件工艺制成了用InAlAs作为肖特基势垒增强材料的高性能InAlAs/InGaAs/InPMSM光电探测器。用自制的测试系统对器件的直流和瞬态特性进行了测试,测试结果表明,器件的击穿电压大于30V,在10V偏压下暗电流小于20nA,对应的暗电流密度为3pA/μm ̄2,优于已有的文献报导;器件的瞬态响应中上升时间小于20ps,半高全宽小于40ps,器件性能表明用此套GSMBE系统在优化生长条件下生长的InP系材料质量良好,在外延层晶体质量,本底杂质浓度及界面质量等方面已达到较高水平。
张永刚
陈建新
任尧成
李爱珍
关键词:
光电探测器
GSMBE
3~5μm波段InAlAs/InGaAs QWIP特性研究
张永刚
李全魁
任尧成
李爱珍
陈建新
中国科学院上海冶金研究所
关键词:
INALAS/INGAAS
QWIP
半导体材料
GaN基材料RF等离子体MBE生长
齐鸣
李爱珍
李伟
任尧成
李存才
赵智彪
陈建新
张永刚
郑燕兰
魏茂林
茹国平
通过研究建立了射频等离子体分子束外延系统及辅助系统。在白宝石、SiC、HVPEGaN/Al2O3三种衬底上生长出具有光学特性、结构特性、电学特性的GaN、AlGaN(XAL0-0.25)材料。研制了AlGaN/GaN/A...
关键词:
关键词:
GAN
MBE
赝配InGaAs/InAlAs调制掺杂异质结构的Shubnikov-de Haas振荡
1998年
赝配InGaAs/InAlAs调制掺杂异质结构可以获得很高的电子气面密度和电子迁移率,从而可以制成具有优越高频和低噪声特性的高电子迁移率晶体管(HEMT).文中报道InGaAs/InAlAs调制掺杂异质结构低温下纵向和横向磁阻随磁场强度变化的ShubnikovdeHaas(SdH)振荡和量子Hal效应.对SdH振荡曲线作了快速傅里叶变换,获得了二维电子气的能带结构和各能带上的电子气面密度.分析比较了顶层InGaAs不同掺杂情况对SdH振荡的影响,结果发现顶层InGaAs重掺杂,会对表面态起屏蔽作用。
陈建新
李爱珍
任尧成
关键词:
调制掺杂
铟镓砷
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