杨陈
- 作品数：11 被引量：15H指数：3
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家教育部博士点基金陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺机械工程一般工业技术更多>>
- 氧气气氛对氧化铪薄膜性能的影响被引量：4
- 2009年
- 在有氧和无氧气氛条件下,采用真空电子束热蒸发技术在P-Si(100)硅衬底上制备了HfO2薄膜.利用X射线光电子能谱,对薄膜的化学组分进行表征,利用椭偏法对薄膜的膜厚和折射率进行测定,利用紫外可见光谱测量了薄膜的在200 nm^1 200 nm范围内的光透过率,并计算出其光学能隙,利用C-V测试系统对退火后薄膜的介电性能进行测试.结果表明,有氧和无氧条件下制备的薄膜中组分含量存在明显差异,相比于无氧条件下制备的薄膜,有氧条件下制备的薄膜中含有较少的铪单质,因而在可见光范围内具有较高透光率和光学能隙,较低的折射率和更优异的介电性能.
- 惠迎雪杨陈田玉祥徐均琪
- 关键词：电子束蒸发HFO2薄膜透过率椭偏仪C-V特性
- Ti-17合金等温锻造工艺及参数的优化
- Ti-17合金含有8％的β稳定元素/(Mo+Cr/)，是一种富β的α+β钛合金。等温锻造是制造Ti-17合金压气机盘的一种重要的工艺方法，它可以减少变形抗力、机械加工量；并通过有效控制锻造工艺参数，使锻件最终组织和性能均...
- 杨陈
- 关键词：TI-17合金等温锻造显微组织机械性能
- 文献传递
- 沉积温度对反应电子束蒸发TiO2薄膜结构和光学性能的影响
- TiO2具有较高的折射率,在光学方面有着广泛的应用。文中采用等离子辅助反应电子束真空蒸镀法,以Ti为膜料、纯度为99.99%的O2为反应气体,在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜。使用XRD、OM、SEM分别对50℃、150℃...
- 杨陈樊慧庆惠迎雪
- 关键词：TIO2薄膜电子束蒸发沉积温度光学性质
- 文献传递
- 沉积温度对反应电子束蒸发TiO2薄膜结构和光学性能的影响
- TiO2具有较高的折射率,在光学方面有着广泛的应用.文中采用等离子辅助反应电子束真空蒸镀法,以Ti为膜料、纯度为99.99％的O2为反应气体,在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜.使用XRD、OM、SEM分别对50℃、150℃...
- 杨陈樊慧庆惠迎雪
- 关键词：TIO2薄膜电子束蒸发沉积温度光学性质
- 文献传递
- 等离子辅助电子束蒸发La_2O_3薄膜的制备
- 2007年
- 采用等离子辅助电子束蒸发,在Si(100)衬底上沉积La2O3薄膜。随后对非晶的沉积态薄膜在750℃和900℃分别退火1h。实验结果表明,采用等离子辅助电子束蒸发,可以获得非晶态的La2O3薄膜;经750℃热处理后,薄膜部分晶化;经900℃热处理后,薄膜显著晶化,晶粒尺寸明显增大,并沿(002)方向择优取向。对薄膜I-V特性的测量结果表明,沉积态薄膜具有较小的漏电流,但随着热处理温度升高,薄膜晶化程度提高,薄膜漏电流逐渐增大;对薄膜透过率的测量结果表明,单面抛光的Si衬底上沉积La2O3薄膜,在近红外范围内有明显的增透效果,最大可达20%左右。
- 杨陈樊慧庆焦岗成惠迎雪
- 关键词：透过率
- 沉积温度对反应电子束蒸发TiO_2薄膜结构和光学性能的影响被引量：1
- 2006年
- TiO_2具有较高的折射率,在光学方面有着广泛的应用。文中采用等离子辅助反应电子束真空蒸镀法,以 Ti 为膜料、纯度为99.99%的 O_2为反应气体,在玻璃衬底上制备了 TiO_2薄膜。使用 XRD、OM、SEM 分别对50℃、150℃、300℃三个不同沉积温度下制备的薄膜及其经过450℃真空退火1h 后的结构进行了分析,并对薄膜的折射率进行测量。实验结果表明,提高沉积温度可以增加成膜原子的能量及其在衬底上的扩散能力,使沉积的薄膜结构平整致密,具有较高的折射率。
- 杨陈樊慧庆惠迎雪
- 关键词：TIO2薄膜电子束蒸发沉积温度光学性质
- 高介电栅介质镧钛氧非晶薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种高介电栅介质镧钛氧非晶薄膜的制备方法，用于解决现有方法制备的镧钛氧非晶薄膜的漏电流密度大的技术问题。技术方案是将LaTiO<Sub>3.5</Sub>颗粒作为蒸发的膜料，p型Si(100)作为衬底；衬底清...
- 樊慧庆杨陈李强
- 文献传递
- 离子束辅助反应电子束蒸发TiO_2薄膜的结构和光学性能被引量：7
- 2007年
- TiO2具有较高的折射率和介电常数,在光学和电子学方面有着广泛的应用。本论文采用离子束辅助反应电子束真空蒸镀法,以Ti为膜料,纯度为99.99%的O2为反应气体,通过电子束蒸发,在玻璃衬底上反应生成TiO2薄膜。使用XRD、SEM分别对50℃1、50℃、300℃三个不同衬底温度下沉积的薄膜及其经过450℃真空退火1h后的结构进行了分析,对薄膜的折射率、透射率进行了测量。结果表明,与传统的电子束蒸发相比,离子束辅助电子束蒸发可以增加成膜原子的能量,使沉积的薄膜结构致密,所制备的薄膜具有较高的折射率,并且薄膜在可见光范围内具有良好的透过性能。
- 杨陈樊慧庆李创陈晋
- 关键词：TIO2薄膜电子束蒸发光学性质
- 形变、相变交互作用对Ti-17合金等温锻件显微组织和力学性能影响规律研究被引量：3
- 2003年
- 主要研究了形变和相变交互作用对等温锻件显微组织和力学性能的影响规律。结果发现形变和相变交互作用对Ti-17合金等温锻件的显微组织、力学性能有重大影响,经1次在β相区等温形变与相变交互作用,锻件高倍组织中的α相呈鱼骨状,在两相区等温锻造后,得到有较厚α片层的网篮状组织,各项力学性能指标均较差;经β相区和α+β两相区2次以上形变和相变交互作用并在β相区等温锻造后,得到的网篮组织中的条状α细小均匀,交互作用次数愈多,α条愈细小、扭曲;如果交互作用次数少,在两相区等温锻造后只能得到具有较厚α片层的网篮组织,交互作用次数多,则得到的是细小均匀的球状α组织,但各项力学性能指标均满足要求。
- 姚泽坤郭鸿镇杨陈虢迎光苏梅英
- 关键词：TI-17合金显微组织力学性能
- 非晶氧化镧薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种非晶氧化镧薄膜的制备方法，用于解决现有方法制备非晶氧化镧薄膜的漏电流密度大、击穿电压低的技术问题。技术方案是将La<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>作为蒸发的膜料，p型Si(100)作为衬...
- 樊慧庆杨陈李强
- 文献传递
