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陈肯乐

作品数:2 被引量:7H指数:1
供职机构:北京大学更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电路
  • 1篇调谐
  • 1篇调谐滤波器
  • 1篇真空封装
  • 1篇射频识别
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子设备
  • 1篇滤波器
  • 1篇开关
  • 1篇开关电路
  • 1篇可调
  • 1篇可调谐
  • 1篇可调谐滤波器
  • 1篇封装
  • 1篇RF_MEM...
  • 1篇MEMS

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇陈肯乐
  • 1篇周吉龙
  • 1篇金玉丰
  • 1篇张锦文

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇2008
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
微型MEMS皮拉尼计研究被引量:7
2008年
介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1]。本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS皮拉尼计,制造工艺仅需3张光刻版。其试验结果显示该皮拉尼计在10Pa~300Pa范围内热阻系数与真空度呈很好的线性关系。
周吉龙陈肯乐张锦文金玉丰
关键词:MEMS真空封装
一种新型RF MEMS电容耦合式开关与可调谐滤波器的初步研究
开关是射频微电子机械系统中(RFMEMS)最基本的元件之一,由于其低插入损耗、高隔离度、高线性度、低静态功耗等特点而被广泛应用于无线通信领域中。随着系统中集成的开关数量越来越多,进一步降低单个开关的插入损耗成为研究热点。...
陈肯乐
关键词:微电子设备射频识别开关电路
共1页<1>
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