周吉龙
- 作品数：5 被引量：7H指数：1
- 供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 圆片级封装垂直通孔引线寄生电容研究
- 2012年
- 垂直通孔引线是圆片级封装方法的关键技术之一。针对玻璃衬底垂直通孔引线技术,本文就通孔引线寄生电容开展了研究。首先,利用Ansoft Maxwell 3D对其寄生电容进行了建模和模拟仿真,研究了不同通孔底面直径(d)、玻璃衬底厚度(t)和通孔中心间距(g)的影响。其次,基于微加工工艺,制备了圆片级玻璃衬底的垂直通孔引线样品。最后,对实验加工样品电容进行测试,并与模拟结果进行了比较与分析。
- 张煜张锦文王欣周吉龙
- 关键词：寄生电容玻璃衬底圆片级封装
- 玻璃/硅/玻璃圆片级真空封装基础研究——封装结构设计与微型皮拉尼计研制
- 随着MEMS技术的不断发展，MEMS惯性器件、RF器件等在通讯、交通、国防等各个领域发挥着越来越重要的作用。这些器件大都是需要在一个密封的低气压环境中工作，真空密封封装的质量直接决定了这类器件的性能，因而其变得尤为重要。...
- 周吉龙
- 关键词：真空封装
- 微型MEMS皮拉尼计研究被引量：7
- 2008年
- 介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1]。本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS皮拉尼计,制造工艺仅需3张光刻版。其试验结果显示该皮拉尼计在10Pa～300Pa范围内热阻系数与真空度呈很好的线性关系。
- 周吉龙陈肯乐张锦文金玉丰
- 关键词：MEMS真空封装
- 单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法
- 本发明公开了一种单晶硅横向MEMS微型皮拉尼计及其制备方法，该微型皮拉尼计包括衬底和一硅结构，硅结构分为两部分，一为散热结构，包括两个相互对称的散热体，每个散热体由一个锚点和与锚点固定连接的若干个梳齿构成，散热体之间的梳...
- 张锦文金玉丰周吉龙
- 文献传递
- 单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法
- 本发明公开了一种单晶硅横向MEMS微型皮拉尼计及其制备方法，该微型皮拉尼计包括衬底和一硅结构，硅结构分为两部分，一为散热结构，包括两个相互对称的散热体，每个散热体由一个锚点和与锚点固定连接的若干个梳齿构成，散热体之间的梳...
- 张锦文金玉丰周吉龙
- 文献传递
