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多量子阱红外探测器衬底减薄工艺研究被引量：1: 2008年; GaAs衬底减薄是制作GaAs基多量子阱焦平面红外探测阵列器件工艺中重要的一步,对器件的性能有重要的影响。采用手工和机器减薄抛光相结合的方法,成功地将器件厚度从625μm降为29±2μm。在77 K下,得到了器件的光响应,并对实验结果进行了分析,讨论了垂直入射引起器件光吸收的主要原因。; 马楠邓军史衍丽崔碧峰李晓波张蕾沈光地; 关键词：多量子阱红外光耦合

新型红外探测器敏感元与关键部件的技术研究: 红外传感和探测是一种被广泛应用的关键性技术，它是整个红外技术的核心，有着广泛的应用前景。不仅应用在侦察、夜视等军用领域，而且逐渐扩展到工业检测、医疗卫生等民用领域，具有重大的应用价值。随着半导体工艺技术，材料，物理等基础...; 李晓波; 关键词：室温红外探测器; 文献传递

超薄膜腐蚀自停止技术的缺陷分析被引量：1: 2009年; 作为气动红外探测器密封微电容检测腔的核心部件,要求敏感薄膜必须无孔,平整。浓硼硅腐蚀自停止技术制备超薄膜时,扩散前待扩硼区经常会存在各种表面微缺陷,导致扩硼后,再进行反向腐蚀形成的超薄膜会出现微腐蚀孔。利用小孔扩散模型和流体力学中小孔的热壅塞理论详细计算了缺陷的结构尺寸对缺陷底端局部硼浓度的影响。当缺陷半径r0垲姨Dt,其底端的局部硼浓度会远远低于浓硼硅腐蚀自停止的临界浓度5×1019/cm3,从而在下一步的反向腐蚀出膜过程中,表面有缺陷的扩硼区出现微腐蚀孔的几率大大增加。最后,针对膜区域出现的微腐蚀孔,提出了几种解决方案。; 李晓波徐晨戴天明邓琛沈光地

高分子自组装掩膜的制备被引量：1: 2010年; 利用高分子共混物的微相分离和自组装原理,采用溶液共混和旋转涂膜的方法制得聚苯乙烯/聚甲基丙烯酸甲酯(PS/PMMA)高分子共混物薄膜,对薄膜经过再加工得到具有纳米微孔的PMMA薄膜,研究了对溶液进行超声处理的时间、PS/PMMA共混物溶液浓度、旋涂转速和试片表面对掩膜形貌的影响。以此PMMA薄膜为掩膜对GaP表面进行湿法腐蚀,得到一种蜂窝状的表面微结构,它能使发光二极管(LED)的光功率平均提高18%。; 邓琛徐晨徐丽华邹德恕蒋文静戴天明李晓波沈光地; 关键词：高分子自组装微结构发光二极管

特气室温红外探测器的噪声分析(英文)被引量：1: 2009年; 由MEMS技术制备的特气室温红外探测器的噪声主要包括温度噪声、机械热噪声和背景噪声。从理论上建立了器件的基本热模型,推导得到器件的等效热熔和等效热导分别为8.1μJ/K和1.0×10-3W/K,温度噪声约为1.73×10-10W/Hz1/2;通过器件的工作机理和能量均分原理,推导得到热机械噪声的等效噪声功率约为9.96×10-9W/ Hz1/2,器件的背景噪声约为3 .22×10-11W/Hz1/2,从而得出器件的归一化探测率约为9 .03×106cm.Hz1/2/W。实验表明,器件的噪声中热机械噪声为主要噪声源,大小主要由浓硼硅薄膜的机械性能和器件结构决定,可以通过增大薄膜厚度,减小薄膜面积,从而增加薄膜的特征频率的方法来减小器件受外界振动的影响,但以降低器件的灵敏度为代价。另外环境振动噪声也对器件的影响很大。为了减小外界气压和温度变化的影响,提出了一种新型的双腔结构来减小和平衡外界环境变化引入的噪声。; 徐晨戴天明宋义超李晓波邓琛; 关键词：红外探测器等效噪声功率微机电系统

提高发光二极管出光效率的新方法被引量：6: 2009年; 利用高分子共混物的微相分离和自组装原理,制备出具有纳米微孔的PMMA薄膜,以此为掩膜对发光二极管(LED)表面进行湿法腐蚀,得到表面微结构,并研究了腐蚀时间对表面形貌的影响。测试结果表明,当微孔直径在500nm左右、腐蚀深度约140nm时,所得到的表面微结构能使LED在20mA的注入电流下光功率平均提高18%。; 邓琛徐晨徐丽华邹德恕蒋文静戴天明李晓波沈光地; 关键词：自组装发光二极管(LED)出光效率

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李晓波