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饶峰
作品数:
103
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴良才
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘波
中国科学院上海微系统与信息技术...
任堃
中国科学院上海微系统与信息技术...
朱敏
中国科学院大学
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2008
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低功耗相变存储器用环形电极结构及制备方法
本发明提供一种低功耗相变存储器用环形电极结构及制备方法,所述环形电极结构包括:基底,具有金属层及绝缘层,绝缘层中具有一深度直达金属层的凹槽;钨材料,填充于凹槽内,其厚度小于凹槽的深度至一预设范围值,以使凹槽形成一底部为钨...
饶峰
任堃
宋志棠
文献传递
具有类超晶格结构的相变存储单元及其制备方法
本发明提供一种具有类超晶格结构的相变存储单元,其包括相变材料层,所述相变材料层是由单层GaSb层与单层相变材料Sb<Sub>2</Sub>Te<Sub>3</Sub>层在纳米级厚度单层周期交替生长而形成的类超晶格结构。所...
吕业刚
宋三年
宋志棠
吴良才
饶峰
刘波
文献传递
一种纳秒级可逆相变材料及其相变机理的测定方法
本发明公开了一种纳秒级可逆相变材料及其相变机理的测定方法。该材料具有在多种外在因素单独或联合作用下发生纳秒级可逆相变的性能;所述因素包括电场、压力、温度;所述纳秒级可逆相变是指材料内部原子、原子团或分子发生有序与无序排布...
宋志棠
饶峰
吴良才
一种相变存储器
本发明提供一种相变存储器,特别指利用具有阈值电压开关特性(OTS)的薄膜作为选通开关的相变存储器件,该具有OTS特性的薄膜作为相变存储器中的选通开关能阻挡对未选中相变存储单元无意操作,起到与其他选通开关相同的作用,例如场...
任堃
饶峰
宋志棠
文献传递
降低相变存储器器件单元功耗的加热层及器件的制作方法
本发明涉及一种降低相变存储器器件单元功耗的加热层及器件的制作方法,属微电子领域。其特征在于:在底加热W电极与硫系化合物薄膜层之间加入一加热层,加热层厚度控制在2~3nm,可选择的加热层用的材料包括ZrO<Sub>2</S...
宋志棠
饶峰
吴良才
封松林
文献传递
低功耗相变存储单元及其制备方法
本发明提供一种低功耗的相变存储单元及其制备方法,所述相变存储单元包括上下两个电极,该上下两个电极中至少一个为由两种不同导电材料以纳米级厚度交替层状生长而成的多层结构。本发明还提供了制作低功耗相变存储器的方法,本发明所制作...
吕业刚
宋三年
宋志棠
吴良才
饶峰
刘波
文献传递
复合相变存储材料、制备复合相变存储材料薄膜的方法
本发明揭示了一种复合相变存储材料及其制备方法,所述复合相变存储材料由氮化物和相变材料复合而成,该复合相变存储材料能够在外部的能量作用下实现可逆的相变和可逆的电阻值转换;在所述复合相变存储材料内,氮化物和相变材料互相分散,...
宋志棠
张挺
饶峰
吴良才
宋三年
文献传递
用于相变存储器的Al-Sb-Te系列相变材料及其制备方法
本发明公开了一种用于相变存储器的Al-Sb-Te系列相变材料及其制备方法。该相变材料是一种由铝、锑、碲三种元素组成的混合物,其通式为Al<Sub>x</Sub>(Sb<Sub>y</Sub>Te<Sub>1</Sub>)...
彭程
吴良才
饶峰
宋志棠
刘波
周夕淋
朱敏
一种相变存储器单元及其制备方法
本发明提供一种相变存储器单元及其制备方法,用于提升相变存储器中相变单元的操作速度;采用在相变存储单元的相变存储材料层中植入一层或几层锑Sb薄膜,以加快相变材料在可逆相变过程中的结晶速率。其中相变材料可以是二元的材料体系,...
周夕淋
宋志棠
吴良才
饶峰
文献传递
低功耗相变存储器用限制型电极结构及制备方法
本发明提供一种低功耗相变存储器用限制型电极结构及制备方法,所述限制型电极结构包括:基底,具有金属层及覆盖于金属层上的绝缘层,绝缘层中具有一深度直达金属层的凹槽;钨材料,填充于凹槽内,其厚度小于凹槽的深度至一预设范围值,以...
饶峰
任堃
宋志棠
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