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张胜红
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2
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
陈宝刚
中国科学院长春光学精密机械与物...
王显军
中国科学院长春光学精密机械与物...
陈赟
中国科学院长春光学精密机械与物...
李艳茹
中国科学院长春光学精密机械与物...
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单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法
本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法,属于基于干涉条纹的光学计量领域,解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化,且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅...
陈赟
王显军
李艳茹
张胜红
陈宝刚
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单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法
本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法,属于基于干涉条纹的光学计量领域,解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化,且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅...
陈赟
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