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李存诗
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2
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华东师范大学
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朱荣锦
华东师范大学
赖宗声
华东师范大学
朱自强
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郭方敏
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2005
1篇
2003
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接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器
一种接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器。该方法利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极,在该开关有开关动作时,计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数,直至该开关疲劳失效,无开关动作时,计数器停止计数,...
朱荣锦
郭方敏
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接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器
一种接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器,属接触式MEMS开关器件测试技术领域,该方法利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极,在该开关正常,即第一、二接触点间有开关动作时,计数器计数连续方波脉冲信号...
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