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沈兆发

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇淀积
  • 2篇铁电
  • 2篇铁电薄膜
  • 2篇铁电薄膜材料
  • 2篇气敏
  • 2篇气敏传感器
  • 2篇化学汽相淀积
  • 2篇感器
  • 2篇薄膜生长
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇TIO<,2...
  • 1篇TIO_2薄...

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇黄长河
  • 2篇汪荣昌
  • 2篇徐飞
  • 2篇林晶
  • 2篇沈兆发
  • 1篇陈一

年份

  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
金属有机化学汽相淀积生长铁电薄膜材料和金属有机化学汽相淀积生长TiO_2薄膜气敏传感器
黄长河徐飞汪荣昌林晶沈兆发陈一
1.成果内容简介：(1)金属有机化学汽相淀积生长铁电薄膜材料：用自制的低压金属有机化学汽相淀积(MOCVD)设备在Si衬底上成功地生长了锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜，材料结构是PZT/Pt/粘附层/SiO_2/Si，用SA...
关键词：
关键词：化学汽相淀积薄膜生长铁电薄膜TIO_2薄膜气敏传感器
金属有机化学汽相淀积生长铁电薄膜材料和金属有机化学汽相淀积生长TiO<,2>薄膜气敏传感器
黄长河徐飞汪荣昌林晶沈兆发陈一等
1.成果内容简介：(1)金属有机化学汽相淀积生长铁电薄膜材料：用自制的低压金属有机化学汽相淀积(MOCVD)设备在Si衬底上成功地生长了锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜，材料结构是PZT/Pt/粘附层/SiO<,2>/Si，用...
关键词：
关键词：化学汽相淀积薄膜生长铁电薄膜TIO<,2>薄膜气敏传感器
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