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邓加军

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京航空航天大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇掺硼
  • 1篇电学
  • 1篇电学特性
  • 1篇隧穿
  • 1篇无序度
  • 1篇量子
  • 1篇量子隧穿
  • 1篇纳米硅
  • 1篇硅薄膜

机构

  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 2篇邓加军
  • 1篇徐刚毅
  • 1篇王金良
  • 1篇陈强

年份

  • 1篇2001
  • 1篇2000
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
掺硼纳米硅薄膜电学特性的研究
在等离子化学气相沉积系统中,使用高倍氢稀释硅烷为反应气体,通过加入硼烷(BH)制备掺硼纳米硅薄膜。使用Keithly电流计测得薄膜的电阻,然后计算出其电导率。在低掺硼浓度下,费米能级向带隙中央移动,造成电导激活能的增大和...
邓加军王金良陈强徐刚毅
关键词：纳米硅掺硼量子隧穿
文献传递
掺硼纲米硅薄膜的研究
该课题着重研究了掺硼对纳米硅薄膜的制备、微观结构、导电性能和光带隙的影响.系统地研究了掺杂浓度等工艺参数对薄膜生长的影响,并对掺硼纳米硅薄膜的生长机理提出了尝试性解释:杂质原子(硼)绝大部分是非活性的,只有很少一部分起施...
邓加军
关键词：无序度
文献传递
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共1页<1>
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