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曾鸿江

作品数：22 被引量：7H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第三十八研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 12篇感器
  • 12篇传感
  • 12篇传感器
  • 8篇基板
  • 7篇单晶
  • 7篇单晶硅
  • 6篇硅基
  • 6篇硅基板
  • 6篇封装
  • 5篇单晶硅片
  • 5篇加速度
  • 5篇硅片
  • 4篇倒金字塔
  • 4篇压阻
  • 4篇阵列
  • 4篇速度传感器
  • 4篇流量传感器
  • 4篇金字
  • 4篇加速度传感器
  • 3篇压力传感器

机构

  • 22篇中国电子科技...

作者

  • 22篇曾鸿江
  • 10篇胡国俊
  • 7篇谷永先
  • 4篇时凯
  • 3篇郭育华
  • 3篇兰欣
  • 3篇盛文军
  • 3篇刘莹
  • 2篇陈兴国
  • 2篇邬林
  • 2篇钱江蓉
  • 2篇胡娜娜

传媒

  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇微波学报
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇山东工业技术

年份

  • 2篇2023
  • 2篇2021
  • 4篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 6篇2015
  • 2篇2014
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种硅基垂直互联结构及制备方法
本发明公开一种硅基垂直互联结构及制备方法，包括两片单晶硅晶圆形成的大厚度基板，两片所述单晶硅晶圆之间设置有金属键合层，上下两片所述单晶硅晶圆上设置有上下对称的倒金字塔型凹坑；所述大厚度基板的上下表面以及所述单晶硅晶圆之间...
曾鸿江
文献传递
一种气体流量传感器及其制作方法
本发明公开了一种气体流量传感器及其制作方法，该气体流量传感器包括衬底基片、微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻、环境电阻。衬底基片开设有凹槽，微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻的两端均固定在衬底基片上而悬梁...
曾鸿江胡国俊谷永先时凯
文献传递
一种倒金字塔型硅通孔垂直互联结构及制备方法
本发明公开一种倒金字塔型垂直互联结构及制备方法，包括基板和倒金字塔型通孔，所述基板采用单晶硅晶圆，所述倒金字塔型通孔贯穿于所述基板的上下表面；所述基板上下表面还设置有金属布线，所述基板上表面的金属布线通过所述倒金字塔通孔...
曾鸿江
热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定被引量：3
2016年
设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器,芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离,流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异,设计了适用于批量制造的标定方法。测试结果表明:传感器具有平滑的输出特性,经过标定后,具有较高的一致性及重复性,适合于工业等领域。
谷永先邬林曾鸿江胡娜娜钱江蓉
关键词：微机电系统
一种封装结构的压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种封装结构的压力传感器及其制备方法，硅片的正面通过掺杂制得淡硼掺杂区和浓硼掺杂区，硅片的背面通过刻蚀设有凹槽，凹槽的底部和淡硼掺杂区之间形成硅压力膜，绝缘层敷设在硅片的正面，金属引线设置在绝缘层的顶部，金属...
曾鸿江胡国俊盛文军刘莹
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一体化封装射频微系统组件
本发明公开一体化封装射频微系统组件，包括壳体、金属焊盘、接地焊盘；壳体内具有隔板，隔板两侧为密封的第一腔体和第二腔体；隔板的顶面固定安装多个芯片，隔板的底面固定安装多个芯片，第二腔体的底面固定安装多个芯片；多个金属焊盘固...
曾鸿江陈兴国杨凝
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气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片
本实用新型公开了气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片，包括单晶硅片、玻璃盖板和玻璃底板，单晶硅片上集成有气压传感器和加速度传感器，气压传感器包括第一感应硅膜、多个位于第一感应硅膜上的第一应力敏感电阻、以及从玻璃盖板底端...
谷永先胡国俊郭育华兰欣曾鸿江
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气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片及其制作方法
本发明公开了气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片，包括单晶硅片、玻璃盖板和玻璃底板，单晶硅片上集成有气压传感器和加速度传感器，气压传感器包括第一感应硅膜、多个位于第一感应硅膜上的第一应力敏感电阻、以及从玻璃盖板底端向上...
谷永先胡国俊郭育华兰欣曾鸿江
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一体化封装射频微系统组件
本发明公开一体化封装射频微系统组件，包括壳体、金属焊盘、接地焊盘；壳体内具有隔板，隔板两侧为密封的第一腔体和第二腔体；隔板的顶面固定安装多个芯片，隔板的底面固定安装多个芯片，第二腔体的底面固定安装多个芯片；多个金属焊盘固...
曾鸿江陈兴国杨凝
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一种气体流量传感器
本实用新型公开了一种气体流量传感器，该气体流量传感器包括衬底基片、微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻、环境电阻。衬底基片开设有凹槽，微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻的两端均固定在衬底基片上而悬梁于凹槽上...
曾鸿江胡国俊谷永先时凯
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