谷永先
- 作品数：11 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第三十八研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片
- 本实用新型公开了气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片，包括单晶硅片、玻璃盖板和玻璃底板，单晶硅片上集成有气压传感器和加速度传感器，气压传感器包括第一感应硅膜、多个位于第一感应硅膜上的第一应力敏感电阻、以及从玻璃盖板底端...
- 谷永先胡国俊郭育华兰欣曾鸿江
- 文献传递
- 气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片及其制作方法
- 本发明公开了气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片，包括单晶硅片、玻璃盖板和玻璃底板，单晶硅片上集成有气压传感器和加速度传感器，气压传感器包括第一感应硅膜、多个位于第一感应硅膜上的第一应力敏感电阻、以及从玻璃盖板底端向上...
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- 文献传递
- 热式MEMS流量传感器的设计及测试被引量：1
- 2017年
- 根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重,造成很大的测量误差,改进设计了一种MEMS热式流量传感器,将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构,并相互隔离,有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器,设计了流量传感器的测试系统,包括恒温差电路、桥式测量电路及放大、滤波电路,所采集的流量信号经过滤波放大后输入AD模块进行模数转换,最后经过单片机处理,利用单片机与计算机串口通信功能,在不同流速下打印出不同的电压值;通过Matlab对所测出的数据进行拟合,完成对传感器性能的检测。测量结果表明:在一定的流量范围内,该流量传感器具有测量精度高、响应速率快、输出信号平滑等特点,能够广泛应用于工业、医疗领域的流量测量。
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- 关键词：微机电系统悬臂梁模数转换串口通信
- 基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定被引量：2
- 2019年
- 设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模式为恒温差。流量值通过设计的硬件检测系统处理,通过串口传输至上位机,上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定。经过测试,设计的传感器标定后输出特性良好,能够应用于工业领域的流量测量。
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- 关键词：微机电系统技术MATLAB软件
- 一种气体流量传感器
- 本实用新型公开了一种气体流量传感器，该气体流量传感器包括衬底基片、微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻、环境电阻。衬底基片开设有凹槽，微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻的两端均固定在衬底基片上而悬梁于凹槽上...
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- 文献传递
- 一种气体流量传感器及其制作方法
- 本发明公开了一种气体流量传感器及其制作方法，该气体流量传感器包括衬底基片、微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻、环境电阻。衬底基片开设有凹槽，微加热电阻、上游微测温电阻、下游微测温电阻的两端均固定在衬底基片上而悬梁...
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- 气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片及其制作方法
- 本发明公开了气压与加速度传感器相集成的MEMS芯片，包括单晶硅片、玻璃盖板和玻璃底板，单晶硅片上集成有气压传感器和加速度传感器，气压传感器包括第一感应硅膜、多个位于第一感应硅膜上的第一应力敏感电阻、以及从玻璃盖板底端向上...
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- 一种车辆行人检测跟踪预警装置及其预警方法
- 本发明公开了一种车辆行人检测跟踪预警装置及其预警方法，该预警装置首先通过图像预处理模块对红外摄像机获取的红外视频进行预处理，然后经过检测模块对车辆行人进行检测，经过跟踪模块对车辆行人进行预测跟踪，排除车辆振动干扰影响及虚...
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- 文献传递
- 热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定被引量：3
- 2016年
- 设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器,芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离,流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异,设计了适用于批量制造的标定方法。测试结果表明:传感器具有平滑的输出特性,经过标定后,具有较高的一致性及重复性,适合于工业等领域。
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- 关键词：微机电系统
- 一种车辆行人检测跟踪预警装置及其预警方法
- 本发明公开了一种车辆行人检测跟踪预警装置及其预警方法，该预警装置首先通过图像预处理模块对红外摄像机获取的红外视频进行预处理，然后经过检测模块对车辆行人进行检测，经过跟踪模块对车辆行人进行预测跟踪，排除车辆振动干扰影响及虚...
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