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高瑞良

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：天津电子材料研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶生长
  • 1篇砷化镓
  • 1篇合成工艺
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇GAAS

机构

  • 1篇天津电子材料...

作者

  • 1篇周春锋
  • 1篇齐德格
  • 1篇高瑞良

传媒

  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新的GaAs多晶料合成工艺
在本篇文章中报导了一种新的GaAs合成技术.该技术是在惰性气体压力下,在准密封条件下,不使用B<,2>O<,3>,用高压合成法简便快捷地制备GaAs多晶.本篇文章还对高压原位合成LEC工艺和先合成GaAs多晶粒,再用低压...
高瑞良齐德格周春锋
关键词：半导体材料砷化镓单晶生长合成工艺
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