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杜红艳

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第十一研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇抗性
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇保温处理

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇李海燕
  • 1篇杜红艳
  • 1篇李忠贺

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种光刻胶厚胶坚膜方法
本发明公开了一种光刻胶厚胶坚膜方法，该方法包括：将光刻胶依次进行多次温度递增的升温处理和保温处理，使所述光刻胶从室温升至65-75℃，并进行降温处理，所述升温处理、所述保温处理和所述降温处理的总时间和为2h。本发明由于采...
李海燕李忠贺杜红艳
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