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贾棋
作品数:
19
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
理学
电气工程
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合作作者
欧欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
黄凯
中国科学院上海微系统与信息技术...
游天桂
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
王镇
中国科学院上海微系统与信息技术...
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退火
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自支撑
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最小化
2篇
滤波器
机构
19篇
中国科学院
2篇
中国科学院大...
作者
19篇
贾棋
17篇
欧欣
13篇
黄凯
12篇
游天桂
10篇
王曦
2篇
尤立星
2篇
张伟君
2篇
高波
2篇
黄浩
2篇
王镇
年份
2篇
2020
3篇
2019
2篇
2018
6篇
2017
5篇
2016
1篇
2015
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19
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基于离子束技术的信息材料制备
周民
黄凯
贾棋
林家杰
张润春
张师斌
游天桂
欧欣
一种调控超导纳米线的单光子探测器及其制备方法
本发明提供一种调控超导纳米线的单光子探测器及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:提供一衬底;于所述衬底表面形成具有应力的超导纳米线;基于所述具有应力的超导纳米线制备超导纳米线单光子探测器。基于上述技术方案,本发明提供的...
欧欣
尤立星
贾棋
张伟君
文献传递
一种相变型氧化钒材料及其制备方法
本发明提供一种相变型氧化钒材料及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:提供氧化钒基材,对所述氧化钒基材进行气体离子注入,得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。后续可选择性地通过进一步退火来调整氧化钒中注入气泡的形成情况...
欧欣
贾棋
黄凯
王曦
利用离子注入剥离技术制备单晶氧化物阻变存储器的方法
本发明提供一种利用离子注入剥离技术制备单晶氧化物阻变存储器的方法,包括以下步骤:1)提供氧化物单晶衬底;2)自注入面向所述氧化物单晶衬底内进行离子注入,而后在注入面形成下电极;或在注入面形成下电极,而后自注入面向氧化物单...
欧欣
游天桂
黄凯
贾棋
伊艾伦
王曦
文献传递
一种调控超导纳米线的单光子探测器及其制备方法
本发明提供一种调控超导纳米线的单光子探测器及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:提供一衬底;于所述衬底表面形成具有应力的超导纳米线;基于所述具有应力的超导纳米线制备超导纳米线单光子探测器。基于上述技术方案,本发明提供的...
欧欣
尤立星
贾棋
张伟君
利用离子注入剥离技术制备单晶氧化物阻变存储器的方法
本发明提供一种利用离子注入剥离技术制备单晶氧化物阻变存储器的方法,包括以下步骤:1)提供氧化物单晶衬底;2)自注入面向所述氧化物单晶衬底内进行离子注入,而后在注入面形成下电极;或在注入面形成下电极,而后自注入面向氧化物单...
欧欣
游天桂
黄凯
贾棋
伊艾伦
王曦
文献传递
一种相变型氧化钒材料及其制备方法
本发明提供一种相变型氧化钒材料及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:提供氧化钒基材,对所述氧化钒基材进行气体离子注入,得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。后续可选择性地通过进一步退火来调整氧化钒中注入气泡的形成情况...
欧欣
贾棋
黄凯
王曦
文献传递
一种离子注入剥离制备半导体材料厚膜的方法
本发明提供一种离子注入剥离制备半导体材料厚膜的方法,包括以下步骤:提供衬底,在所述衬底内进行离子注入,离子注入的能量足以使注入离子到达所述衬底内的预设深度,并在所述预设深度处形成缺陷层;沿所述缺陷层剥离部分所述衬底,以得...
欧欣
黄凯
贾棋
游天桂
王曦
一种利用离子注入实现目标薄膜纵向均匀掺杂的方法
本发明提供一种利用离子注入实现目标薄膜纵向均匀掺杂的方法,包括于目标薄膜的厚度方向上选取N个不同的注入深度峰值点;确定待注入离子并提供M组预设注入条件以模拟待注入离子注入目标薄膜时的离子注入过程,得到注入能量‑注入深度分...
吕越
黄浩
贾棋
游天桂
伍文涛
欧欣
高波
王镇
文献传递
缺陷调控二氧化钒太赫兹波段光学性质及应用研究
贾棋
黄凯
林家杰
张润春
张师斌
游天桂
王曦
欧欣
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