姚福保
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：河北师范大学物理科学与信息工程学院更多>>
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- 高频容性氢等离子体的特征
- 研究高频辉光放电等离子体特征的目的在于定量理解等离子体参量的时空分布和输运规律,从理论上深入研究气体放电中所发生的物理和化学机制。高频容性氢等离子体在材料处理广泛应用于等离子体材料处理的刻蚀、沉积和一些微电子设备的表面处...
- 姚福保张连珠赵海涛杨巍
- 关键词：等离子体高频放电
- 高频容性氢等离子体的特征
- <正>研究高频辉光放电等离子体特征的目的在于定量理解等离子体参量的时空分布和输运规律,从理论上深入研究气体放电中所发生的物理和化学机制。高频容性氢等离子体在材料处理广泛应用于等离子体材料处理的刻蚀、沉积和一些微电子设备的...
- 姚福保张连珠赵海涛杨巍
- 关键词：等离子体高频放电
- 文献传递
- 氮气射频放电与直流放电PIC/MC模拟的比较
- 2012年
- 建立氮气容性射频等离子体过程的PIC/MC模型,将模拟结果与直流放电进行比较.结果表明:射频等离子体粒子(e,N 2+,N+)的平均密度较直流放电约大一个量级,在射频电极附近粒子(e,N 2+,N+)的平均能量比直流放电阴极附近的能量低3倍左右;密度偏低的原子离子N+在两电极附近具较高的能量,能量较低的分子离子N 2+在放电空间具较高密度,N 2+的密度大约是N+的6倍;计算的电子能量几率分布与测量结果一致.
- 张连珠赵海涛孙倩姚福保杨巍
- H2-N2混合气体容性射频放电特性的PIC/MCC模拟
- 当前半导体工业的发展，大面积材料表面处理、改造薄膜性能的需要，推动了氢微晶硅薄膜的等离子体化学气相沉积的发展，同时人们也迫切需要对氢气射频放电的微观机制和规律有所掌握。一方面人们在深入研究氢气射频放电状态参数与工艺过程的...
- 姚福保
- 关键词：等离子体
- 文献传递
