董宏奎
- 作品数：9 被引量：16H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 一种基于谐振原理的微型压力传感器设计被引量：1
- 2014年
- 设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构,并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片,其性能实测值与仿真结果基本吻合,验证了结构及工艺方案的可行性。
- 林丙涛李海蒋昭兴董宏奎赵建华张巧云
- 关键词：石英压力传感器谐振线性度键合
- 闭环控制式加速度计
- 本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
- 林丙涛赵建华林日乐张巧云董宏奎翁邦英徐洲李文蕴谢佳维满欣周倩
- 文献传递
- 一体式晶体掩膜
- 本实用新型公开一种一体式晶体掩膜，包括位于基片上的石英晶体振荡器芯片结构，以及与所述石英晶体振荡器芯片结构同基片，且与所述石英晶体振荡器芯片结构同时制作成形的晶体掩膜。本实用新型公开的一体式晶体掩膜，实现了振荡器芯片的一...
- 李文蕴林日乐林丙涛董宏奎谢佳维满欣
- 文献传递
- 一种力敏谐振元件及该元件的制造方法
- 本发明公开了一种力敏谐振元件及该元件的制造方法，力敏谐振元件包括两基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽的内壁以及谐振梁的侧壁分别覆盖有电极，两根谐振梁通过激励电源方向设置使之振动方向相反。谐振...
- 林丙涛赵建华董宏奎
- 文献传递
- 高性能石英MEMS陀螺
- 林日乐谢佳维江黎满欣李文蕴蒋昭兴翁邦英赵建华苏永川林丙涛董宏奎王清亮文路张巧云朱振忠
- 高性能石英MEMS陀螺是振动惯性技术和石英MEMS技术相融合的产品。项目着重开展了敏感芯片设计、石英MEMS工艺、高精度陀螺电路设计等技术研究，突破了高精度陀螺敏感芯片结构设计、一体式掩膜电极成型MEMS工艺、集成式敏感...
- 关键词：
- 关键词：陀螺
- 一种力敏谐振元件的制造方法
- 本发明公开了一种力敏谐振元件及该元件的制造方法，力敏谐振元件包括两基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽的内壁以及谐振梁的侧壁分别覆盖有电极，两根谐振梁通过激励电源方向设置使之振动方向相反。谐振...
- 林丙涛赵建华董宏奎
- 文献传递
- 薄膜均匀性的分析研究被引量：15
- 2006年
- 目前,薄膜在现代科学技术中的重要性与日俱增,基本上各种技术都离不开薄膜。薄膜均匀性在光学、光电及微机电系统(MEMS)等器件的加工工艺中起着不可估量的作用。首先,对点源小面积薄膜均匀性的公式进行理论推导;其次,分析了平面和球面夹具的基片薄膜均匀性公式,并根据这些理论公式着重分析影响薄膜均匀性的各种因素以及改进措施;最后,通过对实验数据的分析研究来不断地改进薄膜均匀性的夹具,改善器件的膜厚均匀性、一致性,从而达到提高器件的稳定性和可靠性,降低生产成本的目的。
- 董宏奎赵建华林日乐胡纳新陈川贵
- 关键词：温度
- 一种力敏谐振元件
- 本实用新型公开了一种力敏谐振元件，包括两基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽的内壁以及谐振梁的侧壁分别覆盖有电极，两根谐振梁通过激励电源方向设置使之振动方向相反。谐振梁上每面的凹槽至少包括位于...
- 林丙涛赵建华董宏奎
- 文献传递
- 集成式石英微机械陀螺质量块制作工艺研究
- 2023年
- 为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求,该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺,在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2μm的质量块,并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先,通过调整镀膜高度和角度以满足厚度精度要求;其次,为了保证对准精度,设计了掩膜夹具和位置调整夹具;最后,通过实验确定了最佳镀膜参数。此外,对制作的质量块进行了激光修调实验,经过修调后,陀螺机械耦合误差信号的幅值从初始的301.0 mV降至17.6 mV。
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- 关键词：机械耦合误差
