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李万荣

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海师范大学数理学院更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇光刻胶

机构

  • 1篇上海师范大学

作者

  • 1篇石旺舟
  • 1篇陈之战
  • 1篇张永平
  • 1篇程越
  • 1篇刘益宏
  • 1篇孙玉俊
  • 1篇赵高杰
  • 1篇李万荣

传媒

  • 1篇上海师范大学...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光刻图形转移技术
2014年
通过对预烘、光刻胶旋涂、软烘焙、对准曝光、后烘、显影、坚膜的光刻工艺过程分析,主要介绍了光刻工艺中容易出现的问题及解决方法,并通过实验和分析得出了可靠的技术方案.
张永平程越卢吴越谈嘉慧赵高杰刘益宏孙玉俊陈之战石旺舟李万荣陆逸枫
关键词：光刻光刻工艺光刻胶
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共1页<1>
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